[发明专利]在柔性基材上镀氧化物光学膜的方法和光学复合部件

说明书

本发明涉及一种在柔性基材上镀氧化物光学膜的方法和光学复合部件。该方法包括：S1通过磁控溅射的方式，在柔性基材上沉积碳膜，碳膜包含间隔分布的碳颗粒；S2通过磁控溅射的方式，在碳膜上沉积单质膜；S3对碳膜和单质膜进行氧化，分别得到碳氧化物气体和固体氧化物；S4去除碳氧化物气体，制得具有多孔结构的氧化物光学膜。本发明巧妙地在制备方法中引入过程物碳，引入孔洞，使最终制得的氧化物膜层具有疏松的多孔结构，不易脱膜，该方法产能大，效率高。

技术领域

本发明涉及复合材料技术领域，特别是涉及一种在柔性基材上镀氧化物光学膜的方法和光学复合部件。

背景技术

一些柔性基材如PMMA，PET等需要镀制光学膜层实现一定的光学效果，如在PMMA上镀制减反膜，在PET上镀光学颜色膜等，但是光学膜由于致密性比柔性基材高很多，导致光学膜镀在柔性基材上很容易脱落。

已报道采用蒸发机蒸镀将二氧化钛、二氧化硅等疏松膜层镀在柔性基材上，来实现将膜层疏松化，使光学膜不易脱落的方案。但是蒸发机效率较低，产能有限，制造成本很高，大大限制了光学膜在柔性基材上的运用。若是使用溅射机在柔性基材上镀膜，虽然产能大，成本低，但由于溅射机镀制的膜层致密度很高，很容易脱膜，达不到客户的要求，难以同时达到平衡产能和光学膜不脱落的目的。

发明内容

基于此，本发明的目的在于提供一种能使光学膜不易从柔性基材上脱落，且产能大的方案。

技术方案如下：

一种在柔性基材上镀氧化物光学膜的方法，包括如下步骤：

S1通过磁控溅射的方式，在柔性基材上沉积碳膜，所述碳膜包含间隔分布的的碳颗粒；

S2通过磁控溅射的方式，在所述碳膜上沉积单质膜；

S3对所述碳膜进行氧化，得到碳氧化物气体，并对所述单质膜进行氧化，得到固体氧化物；

S4去除所述碳氧化物气体，制得具有多孔结构的氧化物膜层。

在其中一个实施例中，所述具有多孔结构的氧化物光学膜的层数为多层，呈层叠设置，所述的在柔性基材上镀氧化物光学膜的方法还包括如下步骤：

再执行一次或多次S1-S2-S3-S4的步骤的组合，以依次将各层所述具有多孔结构的氧化物光学膜镀在所述柔性基材上；

其中，在不同次的S1-S2-S3-S4的步骤的组合中，每一次沉积的所述碳膜和相对于所述柔性基材的位置不同，每一次沉积的所述单质膜的种类相互独立。

在其中一个实施例中，至少有1层所述氧化物光学膜中包含的氧化物与另一层所述氧化物光学膜中包含的氧化物不同。

在其中一个实施例中，至少有1层所述氧化物光学膜中包含的氧化物为金属氧化物。

在其中一个实施例中，沿所述氧化物光学膜的厚度方向，每一次制得的所述碳膜的粒径分别独立为X nm，0＜X≤3。

在其中一个实施例中，每一次制得的所述单质膜的厚度分别独立为Y nm，0＜Y≤3。

在其中一个实施例中，所述氧化物光学膜的总孔隙率为1％～20％。

在其中一个实施例中，每一次制得的所述碳膜的厚度分别独立为X nm，0＜X≤3。

在其中一个实施例中，每一次制得的所述金属膜的厚度分别独立为Y nm，0＜Y≤1。

在其中一个实施例中，重复上述S1-S2-S3-S4的步骤至少10次。

在其中一个实施例中，所述柔性基材的材质为聚甲基丙烯酸甲酯、聚酰亚胺、聚碳酸酯、聚丙烯和聚对苯二甲酸乙二醇酯中的至少一种。