[发明专利]一种热盘的气流风道结构在审
申请号: | 202111304665.8 | 申请日: | 2021-11-05 |
公开(公告)号: | CN114042611A | 公开(公告)日: | 2022-02-15 |
发明(设计)人: | 汪钢;傅立超 | 申请(专利权)人: | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
主分类号: | B05D3/02 | 分类号: | B05D3/02;H01L21/67 |
代理公司: | 浙江中桓凯通专利代理有限公司 33376 | 代理人: | 李美宝 |
地址: | 315400 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 气流 风道 结构 | ||
1.一种热盘的气流风道结构,其特征在于,包括:
排风管道,设有排风口和导风口;
导风单元,所述导风单元连通所述导风口,所述导风单元设有多个热盘安装口;
封板,所述封板可拆卸连接所述热盘安装口;
其中,所述热盘安装口未使用时通过所述封板密封;所述热盘安装口使用时,所述热盘安装口与热盘连接,所述热盘安装口用于排出所述热盘加热晶圆时产生的废气。
2.根据权利要求1所述的热盘的气流风道结构,其特征在于,所述导风单元包括:
相对设置的两个第一侧板;
至少一个横梁,所述横梁架设于两个所述第一侧板,形成多个所述热盘安装口;
其中,所述横梁和/或所述第一侧板设有支撑面,所述封板设于所述支撑面。
3.根据权利要求2所述的热盘的气流风道结构,其特征在于,所述横梁设有横梁本体,以及设于所述横梁本体顶部的分隔件,所述横梁的所述支撑面位于所述分隔件的至少一侧。
4.根据权利要求2所述的热盘的气流风道结构,其特征在于,所述横梁的端部设有纵向限位件,所述纵向限位件凸出于所述支撑面。
5.根据权利要求4所述的热盘的气流风道结构,其特征在于,所述横梁的端部设有横向限位件,所述横向限位件连接所述纵向限位件远离所述支撑面的一端,所述封板或所述热盘设于所述横向限位件和所述支撑面之间。
6.根据权利要求1-5任一项所述的热盘的气流风道结构,其特征在于,所述排风管道包括:
至少两个侧排风盒,连通每个所述导风单元相对的两侧;
总排风盒,连通所述侧排风盒,所述排风口设于所述总排风盒。
7.根据权利要求6所述的热盘的气流风道结构,所述侧排风盒和所述总排风盒插接;和/或所述侧排风盒和所述总排风盒的连接处设有密封件。
8.根据权利要求6所述的热盘的气流风道结构,其特征在于,所述气流风道结构还包括:气压传感器,所述气压传感器设于所述总排风盒和/或所述侧排风盒。
9.根据权利要求1所述的热盘的气流风道结构,其特征在于,所述气流风道结构还包括:过线管道,所述过线管道设于所述导风单元的至少一侧,所述过线管道设有过线口;
其中,所述导风单元的所述热盘安装口对应的一侧为加热腔体,所述加热腔体与所述过线口连通。
10.根据权利要求9所述的热盘的气流风道结构,其特征在于,所述气流风道结构还包括:相对的两个侧支撑架,所述排风管道和所述过线管道设于所述侧支撑架内,所述导风单元设于两个所述侧支撑架之间;
其中,所述侧支撑架设有导风单元安装槽,所述导风单元与所述导风单元安装槽配合。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波润华全芯微电子设备有限公司,未经宁波润华全芯微电子设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111304665.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。