[发明专利]一种电池片膜厚监控装置、系统和方法

说明书

本发明公开了一种电池片膜厚监控装置、系统和方法，属于太阳能电池技术领域。它包括电池片上料通道、良品电池片下料通道、不良品电池片返工通道、膜厚检测机构和电池片装卸区；所述电池片上料通道与电池片装卸区连接，电池片装卸区通过第四电池片转移通道与膜厚检测机构连接；所述膜厚检测机构通过第五电池片转移通道与良品电池片下料通道连接，膜厚检测机构通过第六电池片转移通道与不良品电池片返工通道连接。本发明能有效实现电池片的膜厚监控，减少人工劳动力，提高电池片膜厚数据的监控频次和良品电池片的下传成功率。

技术领域

本发明属于太阳能电池技术领域，更具体地说，涉及一种电池片膜厚监控装置、系统和方法。

背景技术

光伏太阳能电池生产制造基地建设中，建设规模越来越大，由原来的年产10MW、50MW、500MW再到现在的1GW、3GW、5GW、7.5GW单车间生产规模，规模越大机台线别数量越多，同时自动化程度越高，线别数量增加自动化程度越来越高，单线人工配置越少；而作为光伏太阳能电池生产制造流程的核心工序PECVD(镀减反射膜后续简称镀膜工序)，由于工序特点针对镀膜后的产品电池片需要进行检测膜厚折射率来表征产品的质量；

光伏太阳能电池生产制造过程中，电池的转换效率一直是考量电池生产厂家的核心指标，为了给组件生产提供更高的功率瓦数，电池端的提效是必须的，由于现有的PERC产品路线效率提升已接近极限值，想要继续提升转换效率难度系数极大切效果不佳；目前已研发出比较新颖的TOPCon工艺路线，该工艺路线需要增加核心工艺Poly沉积，Poly膜厚监控重要性极高，每个管出来都必须监控，频次很高。

目前行业中Poly的膜厚监控需要使用特殊处理过的膜厚监控硅片人工插入石墨舟中，沉积完成后人工将原来插入石墨舟中的监控片取出离线测试膜厚折射率，使用的膜厚折射率测试仪属于离线式的，每次需要对产线炉管机台进行监控时需要，人工将Poly工序石墨舟内指定位置的片子收集起来，拿到测试仪地点测试；现有的方式监控有很大的弊端：1、需要人工将特殊的膜厚监控硅片手动插入石墨舟固定位置中，由于操作复杂工作量大如果全靠人员操作工作量极大，无法保证执行效果，部分员工可能出现未及时插片监控的情况，由于产线规模大，动辄5GW项目机台数量多，测试工作量大无法设定高频次监控，导致部分异常无法及时发现导致不良品下传。

发明内容

1.要解决的问题

针对现有技术中的电池片监控装置或方法操作复杂、无法设定高频次监控，导致部分不良品电池片下传的问题，本发明提供一种电池片膜厚监控装置、系统和方法；通过将非正常电池片自动抓取插入石墨舟中，镀完膜后按照记录位置自动的将非正常电池片由传统的离线式膜厚折射率测试仪，集成到在线方式测试，在线式检测膜厚折射率数据，可以提高数据监控频次，减少异常产品未及时监控而流传至客户端的现象，从而提升产品可靠性和测试数据真实性，减少不良品风险及其他不良的投诉，提高客户满意度。

2.技术方案

为了解决上述问题，本发明所采用的技术方案如下：

本发明的一种电池片膜厚监控装置，其包括电池片上料通道、良品电池片下料通道、不良品电池片返工通道、膜厚检测机构和电池片装卸区；所述电池片上料通道与电池片装卸区连接，电池片装卸区通过第四电池片转移通道与膜厚检测机构连接；所述膜厚检测机构通过第五电池片转移通道与良品电池片下料通道连接，膜厚检测机构通过第六电池片转移通道与不良品电池片返工通道连接。

优选地，所述电池片上料通道包括非正常电池片上料通道和正常电池片上料通道；所述非正常电池片上料通道通过第一电池片转移通道与电池片装卸区连接，所述正常电池片上料通道通过第二电池片转移通道与电池片装卸区连接。