[发明专利]一种六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器

权利要求书

1.一种六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，其特征在于，包括：

基底、设置于所述基底上的多个气敏单元；

所述多个气敏单元中的任意一个气敏单元由相邻气敏单元旋转预设角度得到。

2.根据权利要求1所述的六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，其特征在于，所述气敏单元包括：

测温电极、测量电极、加热电极及气敏膜；

所述测温电极、测量电极、加热电极两两之间存在间隔；所述气敏膜覆盖在所述测量电极上，且不与所述测温电极、所述加热电极接触。

3.根据权利要求2所述的六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，其特征在于，所述测温电极的材料为铂。

4.根据权利要求2所述的六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，其特征在于，所述加热电极的材料为铂。

5.根据权利要求2所述的六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，其特征在于，所述气敏膜的材料为金属氧化物、金属氧化物混合物或改性金属氧化物；所述改性金属氧化物采用的改性方式包括掺杂或修饰。

6.根据权利要求2所述的六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，其特征在于，所述加热电极中不含电极的部分设置于空白基底上。

7.根据权利要求1所述的六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，其特征在于，所述基底的材料为陶瓷、硅或者玻璃中的任意一种。

8.根据权利要求1所述的六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，其特征在于，所述基底的厚度为0.01mm～0.5mm。

9.根据权利要求6所述的六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，其特征在于，所述基底的厚度为0.1mm。

10.根据权利要求1所述的六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，其特征在于，所述气敏单元的数量为4个。