[发明专利]一种六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器

说明书

本发明公开了一种六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，包括：基底、设置于所述基底上的多个气敏单元；所述多个气敏单元中的任意一个气敏单元由相邻气敏单元旋转预设角度得到。本发明提供的六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，基于阵列的半导体金属氧化物气敏材料多个点位对六氟化硫分解产物进行检测，然后分析每个点以及多点结合等方式组合分析，最终生成检测结果。本发明具有操作简单、成本小、操作简单，检测过程稳定的优点。

技术领域

本发明涉及六氟化硫分解产物检测技术领域，尤其涉及一种六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器。

背景技术

在输配电体系中，气体绝缘组合电器凭借着自身体积小、占地面积小、不受外界环境影响、运行安全可靠、维护简单以及检修周期长等诸多优点在输配电网中广泛应用。其中，六氟化硫也凭借着高耐电强度和良好的理化特性在其中起着决定性作用。由于某些不可避免的缺陷(制造过程中电极表面毛刺、导电微粒、绝缘子表面缺陷等)亦或者气体绝缘组合电器安装偏差等引起接触不良，仍会引起不同程度的局部放电，导致电阻急剧变大，温度过高，从而造成局部过热性故障等，这都会导致六氟化硫发生分解。六氟化硫发生分解一般生成SF4、SF3、SF2等多种低氟硫化物，但这些低氟硫化物极不稳定，在纯净的六氟化硫气体中，温度降低时他们又会迅速还原为六氟化硫气体。但实际运行的气体绝缘组合电器设备中总存在一些诸如水分、空气等杂质，这些低氟硫化物就会进一步与这些微量水分、氧气发生反应生成SOF4、SOF2、SO2F2、SO2、HF等化合物。而分解生成的SOF4、SOF2、SO2F2、SO2、HF等气体无法还原为六氟化硫气体，同时还会进一步腐蚀气体绝缘组合器，进一步加剧六氟化硫气体的分解，使得气体绝缘组合器功能受到损坏，甚至引发重大灾难。因此对六氟化硫气体是否发生分解的检测工作至关重要。

目前，针对六氟化硫中分解产物的含量进行测定主要分析方法有：高频电离法、激光光声法、超声波法、红外吸收光谱法、气相色谱法、气敏传感器法等。高频电离法采用高频电离法监测时，六氟化硫气体分子可以吸附电子转为大质量电子，其在电磁场中的速度远比电子慢，因而气体会表现出不同的电特性，其检测下限较低且不会造成中毒现象；激光光声法使用波长等于六氟化硫气体吸收峰的激光照射被测气体，当被测气体中含有六氟化硫时，会吸收激光能量并发热膨胀，产生声波。测量声波强度即可获得被测气体中六氟化硫的含量。超声波法六氟化硫气体分子量较大，当气体中含有六氟化硫时，平均分子量变大，其中声速相应降低，测量气体中的声速，可以获得其中的六氟化硫含量。然而，高频电离法不仅装置复杂，且工作稳定性较差，操作复杂，每次使用前都需要标定，对其他电负性气体也很敏感；激光光声法装置也相对复杂，不仅设备价格高昂，还容易产生误报，存在取样多、响应速度慢等问题；超声波法不仅分辨率低，检测下限较高(通常在数百ppm以上)，同时容易受到温湿度环境或其他气体的影响；而激光光谱法的设备同样存在价格昂贵，工作不稳定等缺陷。

发明内容

本发明的目的在于提供一种六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，以解决现有技术中六氟化硫分解产物检测用设备存在的成本高、稳定性差、操作复杂的问题。

为实现上述目的，本发明提供一种六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，包括：

基底、设置于所述基底上的多个气敏单元；

所述多个气敏单元中的任意一个气敏单元由相邻气敏单元旋转预设角度得到。

进一步，作为优选地，所述气敏单元包括：

测温电极、测量电极、加热电极及气敏膜；

所述测温电极、测量电极、加热电极两两之间存在间隔；所述气敏膜覆盖在所述测量电极上，且不与测温电极、加热电极接触。

进一步，作为优选地，所述测温电极的材料为铂。

进一步，作为优选地，所述加热电极的材料为铂。