[发明专利]用于晶元搬运的联动式取放手臂机构及系统

权利要求书

1.一种用于晶元搬运的联动式取放手臂机构，其特征在于，包括安装件、驱动件、第一取手臂件和第二取手臂件；

所述安装件具有安装腔体，所述安装腔体沿搬运方向延伸；

所述驱动件设置在所述安装腔体内；

所述第一取手臂件包括第一本体、第一传送带和第一连接件，所述第一本体呈悬挂式滑动设置在所述安装件的内侧壁上，所述第一传送带设置在所述安装件的安装腔体内且沿搬运方向延伸，所述第一传送带能够与所述驱动件连接；

所述第一连接件的第一端锁紧在所述第一传送带上，所述第一连接件的第二端锁紧在第一本体上，以使得所述第一本体能够在所述驱动件驱动所述第一传送带移动时沿搬运方向相对所述安装件错位移动；

所述第二取手臂件包括第二本体、第二传送带、第二连接件和第三连接件，所述第二本体呈悬挂式滑动设置在所述第一本体的内侧壁上，所述第二传送带设置在所述第一本体上且沿搬运方向延伸；

所述第二连接件的第一端锁紧在所述安装件上，所述第二连接件的第二端锁紧在所述第二传送带的第一边上，所述第三连接件的第一端锁紧在所述第二传送带的第二边上，所述第三连接件的第二端锁紧在第二本体上，以使得所述第二本体能够在所述第一本体相对所述安装件错位移动过程中沿同一方向相对所述第一本体错位移动；

所述第二本体的外端部能够承接晶元。

2.如权利要求1所述的用于晶元搬运的联动式取放手臂机构，其特征在于，所述第一传送带和所述第二传送带分别位于所述第一本体的相对两侧。

3.如权利要求1所述的用于晶元搬运的联动式取放手臂机构，其特征在于，所述第一本体在搬运方向上的运动行程不大于所述第二本体在搬运方向上的运动行程。

4.如权利要求1所述的用于晶元搬运的联动式取放手臂机构，其特征在于，所述第一本体沿搬运方向相对所述安装件错位的长度与自身全长之比在0～0.65之间。

5.如权利要求1所述的用于晶元搬运的联动式取放手臂机构，其特征在于，包括导轨、设置在所述导轨上的滑块，所述安装件的内侧壁和所述第一本体的内侧壁上均设置有所述导轨，所述第一本体的外侧壁和所述第二本体的外侧壁上均设置有与所述导轨对应的所述滑块。

6.如权利要求5所述的用于晶元搬运的联动式取放手臂机构，其特征在于，所述滑块的数量设置有多个，多个所述滑块沿搬运方向均布设置在所述导轨上。

7.如权利要求1所述的用于晶元搬运的联动式取放手臂机构，其特征在于，所述第一连接件和所述第二连接件的长度可调。

8.如权利要求1所述的用于晶元搬运的联动式取放手臂机构，其特征在于，所述安装件的上端面向内凹陷形成所述安装腔体。

9.一种用于晶元搬运的系统，其包括权利要求1-8任一项所述的联动式取放手臂机构，其特征在于，还包括旋转件、Z轴驱动件和X轴驱动件，

所述旋转件的输出端能够与所述安装件背离所述第一本体的端面连接，以使得所述旋转件能够驱动所述联动式取放手臂机构绕Z轴方向转动；

所述Z轴驱动件的输出端能够与所述旋转件连接，以使得所述Z轴驱动件能够沿Z轴方向驱动所述联动式取放手臂机构移动；

所述X轴驱动件的输出端能够与所述Z轴驱动件连接，以使得所述X轴驱动件能够沿X轴方向驱动所述联动式取放手臂机构移动。

10.如权利要求9所述的用于晶元搬运的系统，其特征在于，所述Z轴驱动件和X轴驱动件包括顶出气缸，所述旋转件包括伺服电机、与所述伺服电机连接的扭力传感器。