[发明专利]用于晶元搬运的联动式取放手臂机构及系统

说明书

本发明公开了一种用于晶元搬运的联动式取放手臂机构及系统，该机构包括安装件、驱动件、第一取手臂件和第二取手臂件；所述第一取手臂件包括第一本体、第一传送带和第一连接件，所述第一连接件的第一端锁紧在第一传送带上、第二端锁紧在第一本体上，使得所述第一本体能够在所述驱动件驱动所述第一传送带移动时沿搬运方向相对所述安装件错位移动；所述第二取手臂件包括第二本体、第二传送带、第二连接件和第三连接件，所述第二本体能够在所述第一本体相对所述安装件错位移动过程中沿同一方向相对所述第一本体错位移动；所述第二本体的外端部能够承接晶元。本发明至少包括以下优点：安装空间小、搬运距离长，搬运时效性能好，缩短一倍的搬运周期。

技术领域

本发明涉及薄状料件搬运技术领域，具体的是一种用于晶元搬运的联动式取放手臂机构及系统。

背景技术

本部分的描述仅提供与本发明公开相关的背景信息，而不构成现有技术。

晶元作为一种薄状料件，其在生产加工过程中必不可少需要位置的转移。由于晶元的加工步骤较多，在考虑到整体安装布局的情况下，需要一种安装空间小、搬运距离长的装置。现有技术中，采用多自由度机械手的方式，这种方式搬运虽然覆盖范围广，但仍旧需要较大的安装空间且成本大。在采用滚珠丝杆时，虽然保证了搬运距离，但其也需要较大的安装空间。因此，急需设计一种安装空间小、搬运距离长的装置。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本发明的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本发明的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

发明内容

为了克服现有技术中的缺陷，本发明实施例提供了一种用于晶元搬运的联动式取放手臂机构及系统，其能够有效解决安装空间小、搬运距离长的技术问题。

本申请实施例公开了：一种用于晶元搬运的联动式取放手臂机构，包括安装件、驱动件、第一取手臂件和第二取手臂件；

所述安装件具有安装腔体，所述安装腔体沿搬运方向延伸；

所述驱动件设置在所述安装腔体内；

所述第一取手臂件包括第一本体、第一传送带和第一连接件，所述第一本体呈悬挂式滑动设置在所述安装件的内侧壁上，所述第一传送带设置在所述安装件的安装腔体内且沿搬运方向延伸，所述第一传送带能够与所述驱动件连接；

所述第一连接件的第一端锁紧在所述第一传送带上，所述第一连接件的第二端锁紧在第一本体上，以使得所述第一本体能够在所述驱动件驱动所述第一传送带移动时沿搬运方向相对所述安装件错位移动；

所述第二取手臂件包括第二本体、第二传送带、第二连接件和第三连接件，所述第二本体呈悬挂式滑动设置在所述第一本体的内侧壁上，所述第二传送带设置在所述第一本体上且沿搬运方向延伸；

所述第二连接件的第一端锁紧在所述安装件上，所述第二连接件的第二端锁紧在所述第二传送带的第一边上，所述第三连接件的第一端锁紧在所述第二传送带的第二边上，所述第三连接件的第二端锁紧在第二本体上，以使得所述第二本体能够在所述第一本体相对所述安装件错位移动过程中沿同一方向相对所述第一本体错位移动；

所述第二本体的外端部能够承接晶元。

进一步地，所述第一传送带和所述第二传送带分别位于所述第一本体的相对两侧。

进一步地，所述第一本体在搬运方向上的运动行程不大于所述第二本体在搬运方向上的运动行程。

进一步地，所述第一本体沿搬运方向相对所述安装件错位的长度与自身全长之比在0～0.65之间。

进一步地，包括导轨、设置在所述导轨上的滑块，所述安装件的内侧壁和所述第一本体的内侧壁上均设置有所述导轨，所述第一本体的外侧壁和所述第二本体的外侧壁上均设置有与所述导轨对应的所述滑块。