[发明专利]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，其特征在于，

该加工装置具有：

卡盘工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面；

卡盘工作台罩，其包围该卡盘工作台的周围，具有能够供该卡盘工作台的该保持面突出的开口；

加工单元，其包含主轴、将该主轴保持为能够旋转的主轴壳体以及设置于从该主轴壳体突出的该主轴的下端部的圆盘状的安装座部，利用安装于该安装座部的下部的加工工具对该被加工物进行加工；

加工进给机构，其将该加工单元沿上下方向进行加工进给；

加工室形成罩，其覆盖该卡盘工作台和该安装座部；以及

加工工具罩，其安装于位于该加工室形成罩的内部的该主轴壳体，具有上壁和侧壁，该上壁具有能够供该主轴的该下端部插入的插入孔，该侧壁与该上壁连接且比该上壁向下方突出，该加工工具罩配置于该加工室形成罩的内部，通过该上壁和该侧壁覆盖该加工工具的上方和侧方。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于，

该加工工具罩以能够从该主轴壳体卸下的方式安装于该主轴壳体。

3.根据权利要求1或2所述的加工装置，其特征在于，

该加工装置还具有排气单元，该排气单元包含一端部与该加工工具罩连接、另一端部与吸引源连接的排气管道。