[发明专利]涂敷装置及涂敷方法

权利要求书

1.一种涂敷装置，是使基板和涂敷单元相对移动的同时，在所述基板的周向边缘部涂敷膜形成液的涂敷装置，其特征在于，

所述涂敷单元的构成包括：

在所述基板的至少周向边缘部的端面上涂敷所述膜形成液的涂敷部以及，

将所述涂敷部所涂敷的所述膜形成液在所述基板的周向边缘部的上下面上伸展成薄膜状的伸展部。

2.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，所述伸展部包括与所述基板的周向边缘部上面接触的上面伸展部件、与所述基板的周向边缘部端面接触的端面伸展部件以及与所述基板的周向边缘部下面接触的下面延伸部件而构成；

所述上面伸展部件与所述下面伸展部件相向配置；

所述端面伸展部件配置在所述上面伸展部件与所述下面伸展部件之间的空间内。

3.根据权利要求2所述的涂敷装置，其特征在于，所述上面伸展部件、所述端面伸展部件以及所述下面伸展部件具备沿所述相对移动的方向形成的多个微槽。

4.根据权利要求2所述的涂敷装置，其特征在于，所述伸展部具备第1施力机构、第2施力机构、第3施力机构中的至少一个，其中，

所述第1施力机构对所述上面伸展部件在朝向所述下面伸展部件的方向施力，

所述第2施力机构对所述下面伸展部件在朝向所述上面伸展部件的方向施力，

所述第3施力机构对所述端面伸展部件在朝向所述上面伸展部件与所述下面伸展部件之间的空间的方向施力。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的涂敷装置，其特征在于，所述伸展部包括第1安裝部件和第2安裝部件，其中所述上面伸展部件安裝在所述第1安装部件上，所述下面伸展部件安裝在所述第2安装部件上；

所述端面伸展部件安装在所述第1安装部件或者所述第2安装部件上；

所述第1安装部件以能够在上下方向上移动的方式安装在所述第2安装部件上。

6.根据权利要求5所述的涂敷装置，其特征在于，所述第2安装部件具备用以回收所述膜形成液的回收路，所述下面伸展部件安装在所述回收路内。

7.根据权利要求2～4中任一项所述的涂敷装置，其特征在于，在所述涂敷部与所述上面伸展部件、所述端面伸展部件以及所述下面伸展部件之间具备刮取部，所述刮取部用以刮取所述涂敷部涂敷的所述膜形成液的一部分。

8.根据权利要求7所述的涂敷装置，其特征在于，所述刮取部形成为围绕所述基板的周向边缘部上面、周向边缘部端面以及周向边缘部下面的形状。

9.根据权利要求7所述的涂敷装置，其特征在于，所述刮取部与所述上面伸展部件、所述端面伸展部件以及所述下面伸展部件邻接配置。

10.根据权利要求1～4中任一项所述的涂敷装置，其特征在于，所述涂敷单元具备多个所述伸展部。

11.根据权利要求1～4中任一项所述的涂敷装置，其特征在于，所述涂敷部具备：

在外周面形成有环状槽的涂敷滚轮，

与所述涂敷滚轮的外周面邻近配置、向所述环状槽供给所述膜形成液的液体供给部，

配设在所述涂敷滚轮下方、用以回收从所述涂敷滚轮垂落的所述膜形成液的回收部。

12.根据权利要求11所述的涂敷装置，其特征在于，所述液体供给部具备：在与所述涂敷滚轮的所述环状槽的相对面上形成的液体吐出部、以及与所述液体吐出部相邻配置、与所述涂敷滚轮的外周面相抵接的抵接部件。

13.根据权利要求1～4中任一项所述的涂敷装置，其特征在于，所述涂敷装置还具备与所述基板的角部端面接触，将由所述伸展部伸展的所述膜形成液进一步伸展的角部伸展部。