[发明专利]涂敷装置及涂敷方法

说明书

本发明的目的在于提供一种涂敷装置，所述涂敷装置能够准确地进行控制使得涂敷在基板的包括端面的基板周向边缘部的膜形成液的上下面的涂敷宽度极其窄，并且能够确实地在基板周向边缘部形成均匀厚度的薄的涂膜；涂敷装置10是一边使基板2和涂敷单元20相对移动，一边在基板2的周向边缘部涂敷膜形成液的涂敷装置，涂敷单元20具备在基板2的至少周向边缘部端面涂敷膜形成液的涂敷部30以及将涂敷部30所涂敷的膜形成液在基板2的周向边缘部上下面上伸展为薄膜状的伸展部40。

技术领域

本发明涉及涂敷装置及涂敷方法，更具体地，涉及能够在基板的周向边缘部涂敷液剂的涂敷装置及涂敷方法。

背景技术

作为电子部件的安装用基板，使用了玻璃环氧材料、合成材料、纸苯酚材料等的印刷布线基板被广泛使用。玻璃环氧材料是在层叠了玻璃纤维布的材料上含浸环氧树脂的材料。合成材料是表面使用玻璃布、芯材使用纤维素纸、无纺布的材料。纸苯酚材料是在牛皮纸中含浸苯酚树脂的材料。

对这些玻璃环氧材料、合成材料、纸苯酚材料施以切断加工时，在切断部会产生由环氧树脂或者玻璃纤维等构成的细小尘埃。这些细小尘埃成为引起基板线路接触不良、质量低下等的原因。因此优选在制造印刷布线基板时就除去基板切断时所产生的尘埃。另外，即使从印刷布线基板的切断部端面暂且去除了尘埃，由于印刷布线基板的端面部分脆，故仍然有在随后的蚀刻工序等基板的制造处理工序中，端面部分崩坏而产生更多尘埃的可能性。

于是本发明申请人在先提出了在基板的端面涂敷膜形成液来形成膜，从而能够防止端面部分崩坏的涂敷装置以及涂敷方法(以下的专利文献1)。

专利文献1所述的涂敷装置是通过使能够夹着基板端部而相对配置的一对涂敷滚轮沿着基板周向边缘移动，在基板的端面上涂敷膜形成液。

进而近年来，为了应对各种电子设备的薄型化、小型化，对厚度为数十μm～数百μm左右的薄型覆铜叠层基板(也称为封装基板)的需求正在增加。对于这样的薄型基板，难以仅在基板端面上涂敷膜形成液，例如在包含基板端面的周向边缘部涂敷成镜框状的形态是优选的。

因此，本发明申请人在先提出了一种涂敷装置和涂敷方法，该涂敷装置和涂敷方法在包括基板端面的周向边缘部上以镜框状涂敷膜形成液来形成膜，从而能够防止端面部分的崩坏等(以下的专利文献2)。

专利文献2所述的涂敷装置是在上下一对涂敷头的相对面上，装备有存储膜形成液的液体积存部和将附着在通过该液体积存部的基板的端部的所述膜形成液涂敷成薄膜状的涂工部。然后，在所述基板的端部插入所述一对涂敷头的相对面的间隙的状态下，所述一对涂敷头沿着所述基板的周向边缘部移动，从而所述膜形成液以镜框状被涂敷在包括所述基板的端面的周向边缘部上。

发明所要解决的问题

最近，作为涂敷对象的基板的种类增加，同时这些基板的制造处理工序也变得多样化。并且，根据基板的种类、其制造处理工序的不同等，对基板涂敷所述膜形成液的涂敷形式也变得多样化，也出现上述专利文献1、2所述的涂敷装置不能很好地对应的情况。

例如，在专利文献2所述的涂敷装置中，例如，在对厚度为0.5mm左右以上的基板进行涂敷的情况下，在通过所述一对涂敷头的液体积存部和涂工部的基板端面上所附着的膜形成液，垂向该端面的下方，转到端面下部的角部，有时会产生少量的液体堆积。因此，也有干燥后的基板的端面下部的角部分的涂膜的膜厚部分地变厚的情况，也有形成在基板的周向边缘部的3面上的涂膜的膜厚不均匀的情况之类的课题。

另外，有时在基板的周向边缘部涂敷膜形成液而形成涂膜后，在该基板的制造处理工序的最终工序中，进行从所述基板剥离所述涂膜的处理。在进行这种剥离涂膜的处理的情况下，存在如果所述涂膜的膜厚度有偏差，则有不能将所述涂膜剥离干净的课题。