[发明专利]一种芯片良率的监测方法及装置、电子设备、存储介质

权利要求书

1.一种芯片良率的监测方法，其特征在于，包括：

根据芯片在预设测试中的测试结果，分别确定各监测对象的良率信息，其中，所述良率信息包括芯片良率和/或良率损失，每个所述监测对象包括以下任一种：同一批次的芯片、同一晶圆上的芯片、同一晶圆上同一预设区域内的芯片；

根据所述良率信息，将各所述监测对象划分为至少两个对象集合；

从所述至少两个对象集合中查找目标集合，以根据所述目标集合中各监测对象对应的工艺信息调整芯片工艺，其中，所述目标集合携带所述良率信息波动的预警信息。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据芯片在预设测试中的测试结果，分别确定各监测对象的良率信息包括：

从测试日志中获取每个所述监测对象内、落入各失效类别的失效芯片的数量，所述数量包括各失效类别中的失效芯片的总失效数量和/或每个失效类别中的失效芯片的每类失效数量；

根据每个所述监测对象内、落入各失效类别的所述失效芯片的数量以及所述监测对象内的芯片总数，分别确定各所述监测对象的良率信息，得到第一良率信息，其中，所述第一良率信息包括所述总失效数量对应的良率和/或所述每类失效数量对应的每类良率损失。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据芯片在预设测试中的测试结果，分别确定各监测对象的良率信息包括：

从测试日志中获取每个所述监测对象内，落入每个失效类别的失效芯片的数量，得到每类失效数量；

确定各所述失效类别对应的失效组，其中，所述失效组根据引起芯片失效的原因划分，每个所述失效组对应至少一个所述失效类别，每个所述失效类别对应一个所述失效组；

根据每个所述监测对象内的所述每类失效数量，以及各所述失效类别对应的失效组，确定每个所述监测对象内、落入每个所述失效组的失效芯片的数量，得到每组失效数量；

根据每个所述监测对象内的各所述每组失效数量，以及同一所述监测对象内的芯片总数，分别确定每个所述监测对象内、每个失效组的良率损失，得到第二良率信息。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述失效组包括以下至少一项：缺陷致因失效组、器件特性致因失效组、测试致因失效组、未定因失效组。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述良率信息，将各所述监测对象划分为至少两个对象集合包括：

根据所述第二良率信息，在每个所述失效组中，将各所述监测对象划分为至少两个对象集合；

所述从所述至少两个对象集合中查找目标集合包括：

从每个所述失效组对应的所述至少两个对象集合中，查找对应的备选集合，其中，所述备选集合携带所述良率信息波动的第一预警信息；

将所述第一预警信息输入预设模型，得到所述目标集合，其中，所述预设模型包括人工智能模型和/或脚本模型，所述目标集合携带所述良率信息波动的第二预警信息。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据所述第二良率信息，在每个所述失效组中，将各所述监测对象划分为至少两个对象集合包括：

根据预设聚类算法，在每个所述失效组中对各所述监测对象的所述良率损失进行聚类，以在每个所述失效组中，将各所述监测对象划分为至少两个对象集合；

和/或

根据预设规则，在每个所述失效组中对各所述监测对象的所述良率损失进行分类，以在每个所述失效组中，将各所述监测对象划分为至少两个对象集合。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述良率信息，将各所述监测对象划分为至少两个对象集合包括以下至少一项：

根据预设聚类算法，对各所述监测对象的所述芯片良率或所述良率损失进行聚类，以将各所述监测对象划分为至少两个对象集合；

根据预设规则，对各所述监测对象的所述芯片良率或所述良率损失进行分类，以将各所述监测对象划分为至少两个对象集合。