[发明专利]动、静铁芯等离子碳氮共渗处理方法有效
| 申请号： | 202111323072.6 | 申请日： | 2021-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN114059008B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 柳玉柱;潘修河;高洁 | 申请（专利权）人： | 江苏苏德涂层有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/30 | 分类号： | C23C8/30;C23C8/36 |
| 代理公司： | 常州联正专利代理事务所(普通合伙) 32546 | 代理人： | 曹燕媛 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 静铁芯 等离子 碳氮共渗 处理 方法 | ||
1.一种动、静铁芯等离子碳氮共渗处理方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、对动、静铁芯进行超声波清洗，
S2、将动、静铁芯装上工装，
S3、进行等离子碳氮共渗处理，包括如下步骤：
S31、抽真空：首先抽真空至20Pa以下；
S32、真空升温：真空升温采用四个阶段加热：
(1)第一阶段加热至100℃，偏压450-480V，压力40-50Pa，N2流量0.05-0.1L/min，H2流量0.3-0.5L/min，加热时间30min；
(2)第二阶段加热至200-250℃，偏压450-480V，压力50-100Pa，N2流量0.05-0.1L/min，H2流量0.3-0.5L/min，加热时间45min；
(3)第三阶段加热至350-450℃，偏压450-480V，压力120-180Pa，N2流量0.1-0.3L/min，H2流量0.4-0.6L/min，加热时间2h；
(4)第四阶段在350-450℃保温30min，偏压450-480V，压力200-250Pa，N2流量0.1-0.3L/min，H2流量0.4-0.6L/min；
(5)第五阶段加热至530℃，偏压480-500V，压力250-280Pa，N2流量0.35-0.5L/min，H2流量0.5-0.6L/min，CH4流量30-45ml/min，加热时间30min；
S33、等离子碳氮共渗：偏压500-520V，压力250-280Pa，N2流量0.4-0.6L/min，H2流量0.4-0.6L/min，CH4流量40-60ml/min，处理时间1-4h；
S34、真空降温：将等离子碳氮共渗后的动、静铁芯真空降温至150℃以下出炉。
2.根据权利要求1所述的动、静铁芯等离子碳氮共渗处理方法，其特征在于，所述动、静铁芯为430F不锈钢。
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