[发明专利]动、静铁芯等离子碳氮共渗处理方法

说明书

本发明公开了一种动、静铁芯等离子碳氮共渗处理方法，包括如下步骤：(1)首先对动、静铁芯进行超声波清洗；(2)将动、静铁芯装上工装；(3)在真空炉内进行等离子碳氮共渗处理。所述等离子碳氮共渗处理方法依次包括抽真空、真空升温、等离子碳氮共渗、真空降温四个阶段。本发明与现有的气体渗氮、液体渗氮处理方法相比，方法温度低，工件变形量小，保证了动、静铁芯的精密度；整个方法处理流程6‑9h，加上真空冷却不超过12h，处理时间短，效率高，节省时间；渗层硬度高，可达HV1300以上，耐磨性好；渗层脆性小，避免使用时开裂失效。

技术领域：

本发明涉及电磁阀配件加工技术领域，尤其涉及一种动、静铁芯等离子碳氮共渗处理方法。

背景技术：

静铁芯和动铁芯是电磁阀里面产生电磁吸力的部件，通过外部线圈通电经过静铁芯、动铁芯实现磁力放大，进而实现电磁阀的开关。静铁芯是固定不动的、动铁芯会随着磁力和静铁芯相吸，不通电了，磁力消失，再用复位弹簧把动铁芯复位到原处，作为执行电磁阀动作特性的动、静铁芯，其使用寿命尤为关键。

影响动静铁芯的使用寿命的两个主要因素，其一就是静铁芯的磁性问题，其二就是耐磨性问题，一般常规的提升动静铁芯的耐磨性就是通过渗氮、渗碳、碳氮共渗等。

现有的渗氮等热处理多采用气体渗氮或者液体渗氮处理，但是这两种处理方法温度高，工件易产生变形，处理时间长，一般50-80h，处理后的硬度也不是特别高HV850-1100左右。

发明内容：

本发明的目的是提供一种动、静铁芯等离子碳氮共渗处理方法，解决之前处理方法的处理时间长、处理温度高、工件容易变形、尺寸不容易精确控制、脆性大、容易开裂、耐磨性不是太好等问题。

为达到上述目的，本发明采用下述技术方案：

本发明提供一种动、静铁芯等离子碳氮共渗处理方法，包括如下步骤：

S1、对动、静铁芯进行超声波清洗，

S2、将动、静铁芯装上工装，

S3、进行等离子碳氮共渗处理，包括如下步骤：

S31、抽真空：首先抽真空至20Pa以下；

S32、真空升温：真空升温采用四个阶段加热：

(1)第一阶段加热至100℃，偏压450-480V，压力40-50Pa，N₂流量0.05-0.1L/min，H₂流量0.3-0.5L/min，加热时间30min；

(2)第二阶段加热至200-250℃，偏压450-480V，压力50-100Pa，N₂流量0.05-0.1L/min，H₂流量0.3-0.5L/min，加热时间45min；

(3)第三阶段加热至350-450℃，偏压450-480V，压力120-180Pa，N₂流量0.1-0.3L/min，H₂流量0.4-0.6L/min，加热时间2h；

(4)第四阶段在350-450℃保温30min，偏压450-480V，压力200-250Pa，N₂流量0.1-0.3L/min，H₂流量0.4-0.6L/min；

(5)第五阶段加热至530℃，偏压480-500V，压力250-280Pa，N₂流量0.35-0.5L/min，H₂流量0.5-0.6L/min，CH₄流量30-45ml/min，加热时间30min；