[发明专利]蒸镀掩膜版维修装置、系统及方法

说明书

本申请实施例提供的蒸镀掩膜版维修装置、系统及方法，涉及显示技术领域。蒸镀掩膜版维修装置由维修基座部分及压头部分组成，在对蒸镀掩膜版进行修复时，将蒸镀掩膜版放置在维修基座部分上，通过压头部分中的压头作用在蒸镀掩膜版中缺陷的压力对蒸镀掩膜版中的异物缺陷和凹凸缺陷进行修复。如此，可以确保采用修复后的蒸镀掩膜版进行有机发光材料层蒸镀时，不会因蒸镀掩膜版中的缺陷使得蒸镀掩膜版与基板之间的距离不一，从而导致不同有机发光材料蒸镀混色的问题，确保制作得到的显示面板在显示时不会存在彩斑现象，提高显示面板的显示质量。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，具体而言，涉及一种蒸镀掩膜版维修装置、系统及方法。

背景技术

彩斑为显示面板生产工艺中的一项常见缺陷，其表现为在显示时从中心向四周扩散的斑状彩色显示不均，彩斑在显示面板中出现的位置不固定，会影响用户使用时的观感，如何避免显示面板出现彩斑是本领域技术人员急需解决的技术问题。

发明内容

为了克服上述技术背景中所提及的技术问题，本申请实施例提供一种蒸镀掩膜版维修装置、系统及方法。

本申请的第一方面，提供一种蒸镀掩膜版维修装置，包括：

维修基座部分及压头部分；

所述压头部分包括压头基座及伸缩设置在所述压头基座上的至少一个压头，所述压头与所述维修基座部分配合，对位于所述压头与所述维修基座部分之间的蒸镀掩膜版中的缺陷进行维修，其中，所述缺陷包括异物缺陷和凹凸缺陷。

上述蒸镀掩膜版维修装置由维修基座部分及压头部分组成，在对蒸镀掩膜版进行修复时，将蒸镀掩膜版放置在维修基座部分上，通过压头部分中的压头作用在蒸镀掩膜版中缺陷的压力对蒸镀掩膜版中的异物缺陷和凹凸缺陷进行修复。如此可以确保采用修复后的蒸镀掩膜版进行有机发光材料层蒸镀时，不会因蒸镀掩膜版中的缺陷使得蒸镀掩膜版与基板之间的距离不一，从而导致不同有机发光材料蒸镀混色的问题，确保制作得到的显示面板在显示时不会存在彩斑现象，提高显示面板的显示质量。

在本申请的一种可能实施例中，所述压头的数量为多个，不同所述压头朝向所述维修基座部分一侧的压合面的尺寸不同；

所述压头朝向所述维修基座部分一侧的压合面的形状包括圆形或正方形。

上述设计可以根据蒸镀掩膜版中的缺陷尺寸的大小，灵活选择与其尺寸相适配的压头对缺陷进行修复。

在本申请的一种可能实施例中，所述压头的布式硬度不小于所述蒸镀掩膜版的布式硬度；

优选地，所述压头采用金刚石制作而成。

如此设计，可以确保在压头压合蒸镀掩膜版的缺陷的过程中，能对缺陷进行有效的修复，避免因压头硬度不够无法在压合过程中对蒸镀掩膜版的缺陷进行有效修复的问题。

在本申请的一种可能实施例中，所述压头朝向所述维修基座部分一侧的压合面与所述维修基座部分朝向所述压头一侧的承载面的表面粗糙度Rz为0.8um～1.6um；

所述压头朝向所述维修基座部分一侧的压合面与所述维修基座部分朝向所述压头一侧的承载面的表面平整度小于1/1000。

上述设计可以使得在对蒸镀掩膜版进行修复的过程中，不会对蒸镀掩膜版造成损伤(比如划伤)。

在本申请的一种可能实施例中，所述压头包括研磨头，所述研磨头通过作用在放置于所述维修基座部分上的蒸镀掩膜版中的异物缺陷或凹凸缺陷上的作用力，对所述蒸镀掩膜版中的异物缺陷或凹凸缺陷进行维修。

在本申请的一种可能实施例中，所述压头包括研磨头及位于所述研磨头外周的研磨带，所述研磨头通过作用在放置于所述维修基座部分上的蒸镀掩膜版中的异物缺陷或凹凸缺陷上的作用力，对所述蒸镀掩膜版中的异物缺陷或凹凸缺陷进行维修。