[发明专利]一种管座芯片共晶装置在审

专利信息
申请号: 202111336080.4 申请日: 2021-11-12
公开(公告)号: CN113990789A 公开(公告)日: 2022-01-28
发明(设计)人: 俞韶军;范思雨;步晨嘉;付昭辉 申请(专利权)人: 浙江辛帝亚自动化科技有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L21/683;H01L21/687;H01L21/67;H01L21/52
代理公司: 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 代理人: 王丽丹
地址: 314400 浙江省嘉兴市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 装置
【权利要求书】:

1.一种管座芯片共晶装置,包括底座(1)、共晶台(2)和控制系统,所述共晶台(2)下方设有加热座(3),加热座(3)内设有加热棒,用于加热共晶台(2),其特征在于:还包括氮气加热装置(4)、TO管座定位夹取装置(5)和顶杆定位装置;

所述TO管座定位夹取装置(5)包括管座吸嘴(12)、手指夹片(13)、导轨滑块(16)和气缸(18),所述手指夹片(13)固定在导轨滑块(16)两侧,通过气缸(18)实现水平移动,所述管座吸嘴(12)设置于手指夹片(13)中间,通过吸嘴安装座(14)固定,并连接气管接头(15),外接气源;

所述氮气加热装置(4)设置于共晶台(2)一侧,包括氮气加热组件和共晶台罩(6),所述氮气加热组件包括加热管安装座(8)、加热管(9)、进气铜管(10)和出气铜管(11),所述出气铜管(11)延升至共晶台罩(6)内。

2.如权利要求1所述的一种管座芯片共晶装置,其特征在于:所述TO管座定位夹取装置(5)设置两组,交替使用。

3.如权利要求1或2所述的一种管座芯片共晶装置,其特征在于:所述手指夹片(13)后侧设有弹簧组件,所述弹簧组件包括压缩弹簧(21)和弹簧安装座(22),所述压缩弹簧(21)与上安装座(20)内所设的孔匹配套接,在手指夹片(13)前后移动时起到缓冲作用。

4.如权利要求1所述的一种管座芯片共晶装置,其特征在于:所述导轨滑块(16)通过上安装座(20)和下安装座(23)固定,一侧还设有导轨滑块限位块(17)。

5.如权利要求1所述的一种管座芯片共晶装置,其特征在于:所述加热管(9)包括石英玻璃管(24)、上端盖(25)和下端盖(26),形成一个加热腔体,所述石英玻璃管(24)内设有电炉丝(27)和温度传感器(40),电炉丝(27)通过电炉丝上接头(31)和电炉丝下接头(32)相连通电。

6.如权利要求1或5所述的一种管座芯片共晶装置,其特征在于:所述加热管(9)通过加热管安装座(8)上的上下固定板(28)固定。

7.如权利要求1所述的一种管座芯片共晶装置,其特征在于:所述加热管安装座(8)顶部设有吹氮气块(29),吹散共晶台上的空气;所述吹氮气块(29)一侧设有气管连接头(30)。

8.如权利要求1所述的一种管座芯片共晶装置,其特征在于:所述共晶台罩(6)的上面板为玻璃面板(7)。

9.如权利要求1所述的一种管座芯片共晶装置,其特征在于:所述顶杆定位装置包括顶杆(33)、顶杆安装座(34)、顶杆气缸(35)、气缸安装座(36)和用于连接顶杆与气缸的连接件(37)。

10.如权利要求9所述的一种管座芯片共晶装置,其特征在于:所述顶杆定位装置还包括顶杆限位块(38),限制顶杆(33)上下滑动的最低位置。

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