[发明专利]一种管座芯片共晶装置在审
申请号: | 202111336080.4 | 申请日: | 2021-11-12 |
公开(公告)号: | CN113990789A | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 俞韶军;范思雨;步晨嘉;付昭辉 | 申请(专利权)人: | 浙江辛帝亚自动化科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/683;H01L21/687;H01L21/67;H01L21/52 |
代理公司: | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人: | 王丽丹 |
地址: | 314400 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 装置 | ||
本发明公开了一种管座芯片共晶装置,包括底座、共晶台和控制系统,所述共晶台下方设有加热座,加热座内设有加热棒,用于加热共晶台,还包括氮气加热装置、TO管座定位夹取装置和顶杆定位装置;所述TO管座定位夹取装置包括管座吸嘴、手指夹片、导轨滑块和气缸,所述手指夹片固定在导轨滑块两侧,通过气缸实现水平移动,所述管座吸嘴设置于手指夹片中间,通过吸嘴安装座固定,并连接气管接头,外接气源;所述氮气加热装置设置于共晶台一侧,包括氮气加热组件和共晶台罩。本发明解决了现有多次夹取造成管座表面划痕多而深的问题。且在共晶台上方设置氮气加热装置,保证共晶温度的稳定性,共晶效果好,管座芯片共晶成品达到品质要求。
技术领域
本发明涉及共晶领域,具体涉及一种管座芯片共晶装置。
背景技术
目前,现有共晶机在芯片与管座共晶过程中,夹取管座的取料手指需经过多次夹取才成最终完成共晶,造成管座表面划痕多而深,主要原因是手指与定位件多次硬接触管座造成的,因此达不到品质要求。另外现有共晶台均通过加热座加热共晶,由于加热座设置于共晶台下方,共晶台上方空气流动快,因此不能有效控制共晶台上方温度的稳定性,影响共晶效果。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种管座芯片共晶装置,TO管座定位夹取仅需一次夹取即完成共晶,配合真空吸嘴的取料,解决了现有多次夹取造成管座表面划痕多而深的问题。且在共晶台上方设置氮气加热装置,保证共晶温度的稳定性,共晶效果好,管座芯片共晶成品达到品质要求。
本发明解决技术问题所采用的技术方案是:一种管座芯片共晶装置,包括底座、共晶台和控制系统,所述共晶台下方设有加热座,加热座内设有加热棒,用于加热共晶台,还包括氮气加热装置、TO管座定位夹取装置和顶杆定位装置;
所述TO管座定位夹取装置包括管座吸嘴、手指夹片、导轨滑块和气缸,所述手指夹片固定在导轨滑块两侧,通过气缸实现水平移动,所述管座吸嘴设置于手指夹片中间,通过吸嘴安装座固定,并连接气管接头,外接气源;
所述氮气加热装置设置于共晶台一侧,包括氮气加热组件和共晶台罩,所述氮气加热组件包括加热管安装座、加热管、进气铜管和出气铜管,所述出气铜管延升至共晶台罩内。
作为一种优选,所述TO管座定位夹取装置设置两组,交替使用。
作为进一步的改进,所述手指夹片后侧设有弹簧组件,所述弹簧组件包括压缩弹簧和弹簧安装座,所述压缩弹簧与上安装座内所设的孔匹配套接,在手指夹片前后移动时起到缓冲作用。
作为进一步的改进,所述导轨滑块通过上安装座和下安装座固定,一侧还设有导轨滑块限位块。
作为进一步的改进,所述加热管包括石英玻璃管、上端盖和下端盖,形成一个加热腔体,所述石英玻璃管内设有电炉丝和温度传感器,电炉丝通过电炉丝上接头和电炉丝下接头相连通电。
作为一种优选,所述加热管通过加热管安装座上的上下固定板固定。
作为进一步的改进,所述加热管安装座顶部设有吹氮气块,吹散共晶台上的空气;所述吹氮气块一侧设有气管连接头。
作为一种优选,所述共晶台罩的上面板为玻璃面板。
作为进一步的改进,所述顶杆定位装置包括顶杆、顶杆安装座、顶杆气缸、气缸安装座和用于连接顶杆与气缸的连接件。
作为进一步的改进,所述顶杆定位装置还包括顶杆限位块,限制顶杆上下滑动的最低位置。
本发明的有益效果是: 设置TO管座定位夹取装置,配合真空吸嘴的取料,手指夹片的定位,TO管座定位夹取仅需一次夹取即完成共晶,解决了现有多次夹取造成管座表面划痕多而深的问题,具有高精度定位夹取,精度可达微米级别,自动化程度高,大大提高良品率,提高生产效率,节约劳动力。且在共晶台上方设置氮气加热装置,将加热的氮气通过铜管输送至共晶台罩,保证共晶温度的稳定性,共晶效果好,使管座芯片共晶成品达到品质要求。
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