[发明专利]应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法及系统

权利要求书

1.一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S01：获取蚀刻任务信息，确定射频电源的控制策略；

步骤S02：根据所述控制策略，确定射频电源的控制步骤；

步骤S03：根据所述控制步骤，分别确定每个步骤的输出参数，并输入预设的多路输出模块；

步骤S04：通过所述多路输出模块，控制所述射频电源进行蚀刻。

2.如权利要求1所述的一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法，其特征在于，所述步骤S01包括：

根据蚀刻任务信息，确定蚀刻主体，并根据所述蚀刻主体，确定蚀刻技术：其中，

所述蚀刻技术包括：溶液蚀刻、主体洗涤、干燥判定、修偏处理；

根据蚀刻技术，确定射频电源控制的控制需求，通过所述控制需求和蚀刻技术生成控制策略。

3.如权利要求1所述的一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法，其特征在于，所述步骤S02包括：

对控制策略进行方案分析，获取控制方案；其中，

所述控制方案包括：溶液蚀刻方案、主体洗涤方案、干燥判定方案、修偏处理方案；

根据控制方案，进行方案步骤规划处理，获取控制步骤；其中，

所述控制步骤包括：溶液蚀刻步骤、主体洗涤步骤、干燥判定步骤、修偏处理步骤。

4.如权利要求3所述的一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法，其特征在于，所述主体洗涤步骤包括：

对溶液蚀刻信息进行位置信息提取，根据蚀刻目标预设的坐标系，确认洗涤信息，并输出洗涤参数；其中，

所述洗涤信息包括：清洗坐标、清洗坐标对应的清洗强度；

根据所述洗涤信息对溶液蚀刻主体分别进行多次洗涤，获得洗涤主体；其中，

所述两次洗涤包括：喷淋洗涤、喷射洗涤。

5.如权利要求3所述的一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法，其特征在于，所述干燥判定步骤包括：

将洗涤完成的洗涤主体进行温度检测处理，获取温度检测信息，并输出温度参数；其中，

所述温度检测信息包括：洗涤主体温度、检测时间、预设时间内的温度变化值；

根据所述温度检测信息，对洗涤主体进行干燥处理，获取干燥值，并进行干燥判断，并输出干燥参数；其中，

当所述干燥值大于等于预设的干燥值时，则所述洗涤主体完成干燥处理；

当所述干燥值小于预设的干燥值时，则进行烘干处理，直到洗涤主体的干燥值大于等于预设的干燥值。

6.如权利要求3所述的一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法，其特征在于，所述修偏处理步骤包括：

通过射频电源对洗涤主体和洗涤主体所在区域进行电磁识别，获取电磁数据，并输出电磁参数；其中，

所述电磁数据包括：电磁频率、电磁场范围、射频电源到洗涤主体的距离；

对所述电磁数据和预设的执行电磁数据进行差异计算，获取边际差值，并进行收取判断；其中，

当所述边际差值在预设的安全差值阈值内时，则为可收取状态，对所述洗涤主体进行收取操作；

当所述边际差值不在预设的安全差值阈值内时，则为不可收取状态，对其进行修偏操作；

所述修偏操作通过对边际差值进行数值分析，获取电磁偏量，并根据的电磁对照库对电磁偏量进行转换，获取偏差电压信号；

根据所述偏差电压信号，伺服电机进行电压变速处理，获取驱动控制信号，并根据所述驱动控制信号，对洗涤主体进行驱动修偏控制，收取蚀刻主体，并输出驱动参数。