[发明专利]供液装置

权利要求书

1.一种供液装置，其特征在于，包括储液单元、泵送单元、输送管路、至少两个分流单元、回流管路和流量调节单元，所述储液单元用于储存溶液，所述泵送单元连接所述储液单元和所述输送管路，所述泵送单元用于将所述储液单元内的溶液输送到所述输送管路内，所述分流单元与所述输送管路连接，所述分流单元用于将所述输送管路内的溶液分流输送到目标位置，所述回流管路连通所述输送管路和所述储液单元，所述回流管路用于将所述输送管路内的溶液回流入所述储液单元，所述流量调节单元包括压力检测单元和第一流量调节子单元，所述压力检测单元用于检测所述输送管路内的压力，所述第一流量调节子单元设置于所述回流管路上，所述第一流量调节子单元用于调节所述回流管路内的液体流量。

2.根据权利要求1所述的供液装置，其特征在于，所述分流单元包括分流支路和第二流量调节子单元，所述分流支路与所述输送管路连通，所述第二流量调节子单元设置于所述分流支路上，用于调节所述分流支路内的液体流量。

3.根据权利要求2所述的供液装置，其特征在于，所述分流单元还包括开关单元，所述开关单元设置于所述分流支路上，用于控制所述分流支路关断和导通，且所述第二流量调节子单元设置于所述输送管路与所述开关单元之间的分流支路上。

4.根据权利要求3所述的供液装置，其特征在于，所述分流单元还包括第三流量调节子单元，所述第三流量调节子单元设置于所述分流支路上，用于辅助调节所述分流支路内的液体流量，且所述开关单元设置于所述第二流量调节子单元和所述第三流量调节子单元之间的分流支路上。

5.根据权利要求1所述的供液装置，其特征在于，所述流量调节单元还包括第四流量调节子单元，所述第四流量调节子单元设置于所述输送管路上，用于调节所述输送管路内的液体流量。

6.根据权利要求5所述的供液装置，其特征在于，所述压力检测单元设置于所述第四流量调节子单元和所述回流管之间的输送管路上。

7.根据权利要求1所述的供液装置，其特征在于，所述输送管路包括相互连接的主输送管路和接口管路，所述主输送管路的一端与所述泵送单元连接，所述接口管路上设有与至少一个接口，所述接口与所述分流单元一一对应连接。

8.根据权利要求1所述的供液装置，其特征在于，还包括控制单元，与所述压力检测单元和所述第一流量调节子单元连接，用于通过所述压力检测单元检测到的压力，控制所述第一流量调节子单元。