[发明专利]供液装置

说明书

本发明提供了一种供液装置，储液单元用于储存溶液，泵送单元连接储液单元和输送管路，泵送单元用于将储液单元内的溶液输送到输送管路内，分流单元与输送管路连接，分流单元用于将输送管路内的溶液分流输送到目标位置，回流管路连通输送管路和储液单元，回流管路用于将输送管路内的溶液回流入储液单元，压力检测单元用于检测输送管路内的压力，第一流量调节子单元设置于所述回流管路上，所述第一流量调节子单元用于调节所述回流管路内的液体流量，通过回流管与所述第一流量调节子单元的配合，能够调控输送管路内的液体压力及流量，避免输送管路内的药液流量受到泵送单元的影响，从而保证输送管路流向分流单元的流量稳定性。

技术领域

本发明涉及供液技术领域，尤其涉及一种供液装置。

背景技术

一般湿法设备会用到指定温度、指定组份、指定浓度的单一药液或混合液，而化学品来源一般不满足设备要求，需要设备内部使用容器对来源化学品进行处理后，泵送供给到工艺处理单元进行喷洒。

泵送供给可以实现液体的输送，但是很难保证输出液体压力、流量的稳定性。一旦增压泵产生压力波动，或者泵送输出端流量产生大幅变化，很难实现化学品在工艺供给单元喷洒的流量稳定性。

因此，有必要提供一种新型的供液装置以解决现有技术中存在的上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种供液装置，保证供液流量的稳定性。

为实现上述目的，本发明的所述供液装置，包括储液单元、泵送单元、输送管路、至少两个分流单元、回流管路和流量调节单元，所述储液单元用于储存溶液，所述泵送单元连接所述储液单元和所述输送管路，所述泵送单元用于将所述储液单元内的溶液输送到所述输送管路内，所述分流单元与所述输送管路连接，所述分流单元用于将所述输送管路内的溶液分流输送到目标位置，所述回流管路连通所述输送管路和所述储液单元，所述回流管路用于将所述输送管路内的溶液回流入所述储液单元，所述流量调节单元包括压力检测单元和第一流量调节子单元，所述压力检测单元用于检测所述输送管路内的压力，所述第一流量调节子单元设置于所述回流管路上，所述第一流量调节子单元用于调节所述回流管路内的液体流量。

所述供液装置的有益效果在于：所述回流管路连通所述输送管路和所述储液单元，所述回流管路用于将所述输送管路内的溶液回流入所述储液单元，所述流量调节单元包括压力检测单元和第一流量调节子单元，所述压力检测单元用于检测所述输送管路内的压力，所述第一流量调节子单元设置于所述回流管路上，所述第一流量调节子单元用于调节所述回流管路内的液体流量，通过回流管与所述第一流量调节子单元的配合，能够调控所述输送管路内的液体压力及流量，避免所述输送管路内的药液流量受到泵送单元的影响，从而保证所述输送管路流向所述分流单元的流量稳定性。

可选地，所述分流单元包括分流支路和第二流量调节子单元，所述分流支路与所述输送管路连通，所述第二流量调节子单元设置于所述分流支路上，用于调节所述分流支路内的液体流量。其有益效果在于：便于辅助调节分流支路内的液体流量。

可选地，所述分流单元还包括开关单元，所述开关单元设置于所述分流支路上，用于控制所述分流支路关断和导通，且所述第二流量调节子单元设置于所述输送管路与所述开关单元之间的分流支路上。其有益效果在于：便于关闭分流支路，减少对第二流量调节子单元的控制。

可选地，所述分流单元还包括第三流量调节子单元，所述第三流量调节子单元设置于所述分流支路上，用于辅助调节所述分流支路内的液体流量，且所述开关单元设置于所述第二流量调节子单元和所述第三流量调节子单元之间的分流支路上。

可选地，所述流量调节单元还包括第四流量调节子单元，所述第四流量调节子单元设置于所述输送管路上，用于调节所述输送管路内的液体流量。其有益效果在于：便于辅助所述第一流量调节子单元，更高的调控所述输送管路内的药液流量。

可选地，所述压力检测单元设置于所述第四流量调节子单元和所述回流管之间的输送管路上。