[发明专利]一种集成化参数测量装置

说明书

本申请涉及一种集成化参数测量装置，涉及半导体器件测试技术领域，该装置包括:参数测量单元，参数测量单元包括：环路控制子单元，其用于基于FVMI或FIMV模式向待测器件输出恒定电流或恒定电压；电压测量子单元，其用于测量待测器件的电压；电流测量子单元，其用于测量待测器件的电流；第一控制器，其用于控制参数测量单元，还用于接收电压测量子单元和电流测量子单元的采样数据。本申请基于环路控制子单元进行集成化处理，使得测试装置具有较高的集成度，测试功能齐全，且具有可靠的测量精度，可广泛应用于各种精密测量系统。

技术领域

本申请涉及半导体器件测试技术领域，具体涉及一种集成化参数测量装置。

背景技术

参数测量单元PMU(Precision Measure Uint)用于精确的DC参数测量，能够驱动电流进入器件而去量测电压或者为器件加上电压而去量测产生的电流。参数测量单元电路广泛应用于自动测试设备(Auto Test Equipment)，用来测试半导体器件的直流参数等。

当前在很多测试系统中，参数测量单元都是利用分立元件如三极管、运算放大器等搭建而成，元件数量多，集成度低，PCBA面积大，调试复杂度高。当使用集成PMU芯片完成测试功能时，输出电压和电流功率受限，无法达到大功率输出。

故而，为满足现阶段的测试需求，现提供一种集成化参数测量装置。

发明内容

本申请提供一种集成化参数测量装置，基于环路控制子单元进行集成化处理，使得测试装置具有较高的集成度，测试功能齐全，且具有可靠的测量精度，可广泛应用于各种精密测量系统。

第一方面，本申请提供了一种集成化参数测量装置，所述装置包括：

参数测量单元，所述参数测量单元包括：

环路控制子单元，其用于基于FVMI或FIMV模式向待测器件输出恒定电流或恒定电压；

电压测量子单元，其用于测量所述待测器件的电压；

电流测量子单元，其用于测量所述待测器件的电流；

第一控制器，其用于控制所述参数测量单元，还用于接收所述电压测量子单元和所述电流测量子单元的采样数据。

具体的，所述环路控制子单元包括：

用于与所述第一控制器连接的串行电路接口；

用于进行数据存储的寄存器；

多个用于输出恒定电流或恒定电压的环路控制电路。

进一步的，所述第一控制器还用于向所述环路控制子单元发送工作模式指令或工作参数指令；

所述第一控制器还用于读取所述环路控制子单元的所述寄存器，判断所述工作模式指令或所述工作参数指令是否接收成功，待判断接收成功后，向所述环路控制子单元发送输出指令。

进一步的，所述环路控制子单元还配置有功率放大电路。

具体的，所述第一控制器包括：

通信控制模块，其用于与上位机进行连接，接收所述上位机传输的控制指令；

数据处理模块，其用于对所述采样数据进行处理；

主控制器模块，其用于控制所述环路控制子单元；

测量电路控制模块，其用于控制所述电压测量子单元与所述电流测量子单元；

采样控制模块，其用于获取所述采样数据。

进一步的，所述第一控制器还包括：

SOC/SOPC，其用于辅助所述数据处理模块、所述主控制器模块进行控制和数据处理。

具体的，所述电压测量子单元配置一电压测量计算公式；

所述电压测量计算公式为：

T_电压=V0*C/（G_电压*2^N）；其中，