[发明专利]一种微纳米金属材料的尺寸分析方法、设备及存储介质在审

专利信息
申请号: 202111348742.X 申请日: 2021-11-15
公开(公告)号: CN114216821A 公开(公告)日: 2022-03-22
发明(设计)人: 唐宏浩;周福鸣;和巍巍;汪之涵 申请(专利权)人: 深圳基本半导体有限公司
主分类号: G01N15/02 分类号: G01N15/02
代理公司: 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 代理人: 廖厚琪
地址: 518000 广东省深圳市坪山区坑梓街道办*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 纳米 金属材料 尺寸 分析 方法 设备 存储 介质
【权利要求书】:

1.一种微纳米金属材料的尺寸分析方法,其特征在于,包括:

获取微纳米金属材料相应的显微图像;其中,所述微纳米金属材料包括多个微纳米金属颗粒;

对所述显微图像中的所述微纳米金属颗粒进行随机选取,得到所述微纳米金属材料的整体样本;

统计所述整体样本中所述微纳米金属颗粒的尺寸,得到所述整体样本的第一统计数据;

对所述整体样本中的所述微纳米金属颗粒进行随机选取,得到所述微纳米金属材料的子样本;

统计所述子样本中所述微纳米金属颗粒的尺寸,得到所述子样本的第二统计数据;

根据所述第一统计数据和所述第二统计数据,输出所述微纳米金属材料的尺寸分析结果。

2.如权利要求1所述的微纳米金属材料的尺寸分析方法,其特征在于,所述对所述显微图像中的所述微纳米金属颗粒进行随机选取,包括:

将所述显微图像划分为多个第一区域;

分别对所述多个第一区域中的所述微纳米金属颗粒进行随机选取。

3.如权利要求2所述的微纳米金属材料的尺寸分析方法,其特征在于,所述分别对所述多个第一区域中的所述微纳米金属颗粒进行随机选取,包括:

将每个所述第一区域均划分为多个第二区域;

从每个所述第一区域中均随机选定至少一个所述第二区域作为目标区域;

分别对各所述目标区域中的所述微纳米金属颗粒进行随机选取。

4.如权利要求3所述的微纳米金属材料的尺寸分析方法,其特征在于,所述对所述整体样本中的所述微纳米金属颗粒进行随机选取,包括:

随机选定预设个数的所述第一区域;其中,所述预设个数与所述第一区域的个数之间的差值的绝对值大于或等于1;

对所选定的每个所述第一区域中的至少一个所述目标区域内的所述微纳米金属颗粒均进行随机选取。

5.如权利要求1所述的微纳米金属材料的尺寸分析方法,其特征在于,所述根据所述第一统计数据和所述第二统计数据,输出所述微纳米金属材料的尺寸分析结果,包括:

根据所述第一统计数据和所述第二统计数据,判断所述第一统计数据是否具备真实性;

若所述第一统计数据具备真实性,则根据所述第一统计数据,输出所述微纳米金属材料的尺寸分析结果。

6.如权利要求5所述的微纳米金属材料的尺寸分析方法,其特征在于,所述统计所述整体样本中所述微纳米金属颗粒的尺寸,得到所述整体样本的第一统计数据,包括:

根据所述整体样本中所述微纳米金属颗粒的尺寸,得到所述整体样本的第一直方图;

根据所述第一直方图,得到相应的第一正态拟合曲线;

所述统计所述子样本中所述微纳米金属颗粒的尺寸,得到所述子样本的第二统计数据,包括:

根据所述子样本中所述微纳米金属颗粒的尺寸,得到所述子样本的第二直方图;

根据所述第二直方图,得到相应的第二正态拟合曲线。

7.如权利要求6所述的微纳米金属材料的尺寸分析方法,其特征在于,所述根据所述第一统计数据和所述第二统计数据,判断所述第一统计数据是否具备真实性,包括:

对比所述第一正态拟合曲线和所述第二正态拟合曲线,得到所述第一正态拟合曲线与所述第二正态拟合曲线之间的相关程度;

根据所述相关程度和预设的相关程度阈值,判断所述第一统计数据是否具备真实性;其中,当所述相关程度大于或等于所述相关程度阈值时,所述第一统计数据具备真实性。

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