[发明专利]一种用于太阳能电池的环境友好型扩散源

权利要求书

1.一种用于太阳能电池的环境友好型扩散源，其特征在于：所述环境友好型扩散源包括有溶剂、氧化硅纳米球前驱源、杂质源和添加剂，所述溶剂为无水乙醇或异丙醇，所述氧化硅纳米球前驱源为甲基三乙氧基硅烷、甲基三甲氧基硅烷以及正硅烷乙酯中的任一一种，所述杂质源为扩散硼源或扩散磷源，所述添加剂为氨水、氨气以及液氨中的任一一种。

2.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池的环境友好型扩散源，其特征在于：所述氧化硅纳米球前驱源包括有催化包膜(1)，所述催化包膜(1)内设置有多个氧化硅纳米球(2)，且多个氧化硅纳米球(2)之间均连接有催化链(3)，且催化包膜(1)和催化链(3)均与添加剂相反应。

3.根据权利要求2所述的一种用于太阳能电池的环境友好型扩散源，其特征在于：所述氧化硅纳米球(2)外端固定连接有多个吸附触角(4)，所述吸附触角(4)上固定连接有互斥凸起。

4.根据权利要求1-3任一所述的一种用于太阳能电池的环境友好型扩散源，其特征在于：所述环境友好型扩散源的使用方法为：

S1.预先将选用合适的溶剂、氧化硅纳米球前驱源、杂质源和添加剂溶解混合为环境友好型扩散源；

此时在添加剂催化作用使得催化包膜(1)和催化链(3)分解，使得氧化硅纳米球(2)裸露分布在溶液内；

S2.将配制完成的环境友好型扩散源输送至沉积设备中，通过沉积设备上的沉积引喷嘴(10)将环境友好型扩散源沉积在硅片衬底上；

此时氧化硅纳米球(2)通过吸附触角(4)吸附在硅片衬底表面，且由于互斥凸起作用，促进氧化硅纳米球(2)分散，使得环境友好型扩散源在硅片衬底上形成均匀的扩散层。

5.根据权利要求4所述的一种用于太阳能电池的环境友好型扩散源，其特征在于：所述沉积引喷嘴(10)左右两端均固定连接有弹性封口(1101)，两个所述弹性封口(1101)之间固定连接有柔性形变膜(11)，且柔性形变膜(11)位于沉积引喷嘴(10)内，所述沉积引喷嘴(10)内壁固定连接有多个辅助均匀囊(14)，所述柔性形变膜(11)内壁固定连接有螺旋牵引空心条(12)，所述螺旋牵引空心条(12)外端贯穿柔性形变膜(11)，并与辅助均匀囊(14)固定连接，两个所述弹性封口(1101)相靠近端均固定连接有电感调径组件(1301)，多个所述辅助均匀囊(14)之间固定连接有呈圆形阵列的刚性限位杆(13)，且刚性限位杆(13)左右两端分别与相对应的电感调径组件(1301)铰接。

6.根据权利要求5所述的一种用于太阳能电池的环境友好型扩散源，其特征在于：所述辅助均匀囊(14)和螺旋牵引空心条(12)相靠近一端均开设有辅助通孔，所述辅助均匀囊(14)靠近沉积引喷嘴(10)一侧内壁固定连接有多个震荡辅助块(1401)，所述震荡辅助块(1401)远离沉积引喷嘴(10)一端固定连接有多个弹性牵引绳(1403)，所述弹性牵引绳(1403)远离沉积引喷嘴(10)一端通过辅助通孔延伸至螺旋牵引空心条(12)内，并固定连接有弹性引震球(1402)，所述弹性引震球(1402)外端固定连接有多个相斥磁力弧片，所述螺旋牵引空心条(12)左右两内壁均固定连接有与弹性引震球(1402)相配合的弹性拨块(1201)。

7.根据权利要求5所述的一种用于太阳能电池的环境友好型扩散源，其特征在于：所述电感调径组件(1301)包括有柔性调径套(15)，两个所述弹性封口(1101)相靠近端均固定连接有柔性调径套(15)，所述柔性调径套(15)远离沉积引喷嘴(10)一侧内壁固定连接有多个调径下位弧片(1501)，且多个调径下位弧片(1501)内端均与柔性形变膜(11)固定连接，所述柔性调径套(15)靠近沉积引喷嘴(10)一侧内壁固定连接有调径上位环(1502)，且调径上位环(1502)外端与沉积引喷嘴(10)固定连接，所述调径下位弧片(1501)和调径上位环(1502)之间固定连接有电热记忆形变网(1503)。