[发明专利]喷嘴清洗装置、喷嘴清洗方法以及涂布装置

说明书

提供一种将从喷嘴的下端部去除的涂布液顺利地排出至涂布装置的外部的喷嘴清洗装置、喷嘴清洗方法以及涂布装置，其包括：附着物去除部，由支撑构件予以支撑；移动部，在使喷嘴抵接构件抵接于喷嘴的下端部的状态下，使附着物去除部沿喷出口的延伸设置方向移动；回收部，在附着物去除部的下方，对通过移动部所造成的喷嘴抵接构件的移动被去除后经由附着物去除部朝下方流动的涂布液进行回收；及排出部，将由回收部所回收的涂布液引导并排出至涂布装置的外部，回收部是具有底部与侧壁的结构体，沿着由底部及侧壁所形成的回收区域使涂布液朝向排出部流动，所述底部在附着物去除部的下方具有朝向排出部倾斜的内底面，所述侧壁是从底部的边部竖立设置。

技术领域

本发明涉及一种涂布装置以及喷嘴清洗技术，所述涂布装置从设在喷嘴的下端部的喷出口对液晶显示装置用玻璃基板、半导体基板、等离子体显示面板(Plasma DisplayPanel，PDP)用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、彩色滤光器用基板、记录盘用基板、太阳能电池用基板、电子纸用基板等精密电子装置用基板、矩形玻璃基板、薄膜液晶用柔性基板、有机电致发光(Electroluminescence，EL)用基板(以下简称作“基板”)喷出涂布液而进行涂布，所述喷嘴清洗技术是通过喷嘴抵接构件来去除并清洗附着于所述喷嘴的下端部的附着物。尤其涉及一种喷嘴清洗装置、喷嘴清洗方法以及涂布装置。

背景技术

为了对基板供给涂布液，一般使用例如像专利文献1所记载的那样具有狭缝状喷出口的喷嘴。此种喷嘴中，有时涂布液会附着于喷嘴的下端部。若附着物干燥并固化而掉落至基板，则会污染基板。因此，专利文献1所记载的装置中，在从喷嘴对基板供给涂布液之前，通过喷嘴抵接构件来去除并清洗附着于喷嘴的下端部的侧面的涂布液。而且，以从下方包覆喷嘴抵接构件的方式来配置薄膜，将由喷嘴抵接构件所去除的涂布液回收至薄膜的中央部，然后排出至涂布装置的外部。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2020-37092号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

所述薄膜的更换是通过手动作业来进行。因此，在安装薄膜时，容易造成褶皱。要完全无褶皱则需要相当的时间。而且，即便无褶皱地进行了安装，仍有时会因经时变化以及作业者的不注意而产生褶皱。若因此类原因产生褶皱，则涂布液会滞留在所述褶皱部分，从而难以稳定地回收涂布液并排出至涂布装置的外部。

本发明是有鉴于所述问题而完成，其目的在于提供一种能够将从喷嘴的下端部去除的涂布液顺利地排出至涂布装置的外部的喷嘴清洗技术。

[解决问题的技术手段]

本发明的第一实施例是一种喷嘴清洗装置，装备在从设在喷嘴的下端部的狭缝状的喷出口喷出涂布液而将涂布液涂布至基板的涂布装置中，对喷嘴进行清洗，所述喷嘴清洗装置包括：附着物去除部，在将喷嘴抵接构件朝向喷嘴的下端部的状态下由支撑构件予以支撑；移动部，在使喷嘴抵接构件抵接于喷嘴的下端部的状态下，使附着物去除部沿喷出口的延伸设置方向移动；回收部，在附着物去除部的下方，对通过移动部所造成的喷嘴抵接构件的移动被去除后经由附着物去除部朝下方流动的涂布液进行回收；以及排出部，将由回收部所回收的涂布液引导并排出至涂布装置的外部，回收部是具有底部与侧壁的结构体，沿着由底部以及侧壁所形成的回收区域使涂布液朝向排出部流动，所述底部在附着物去除部的下方具有朝向排出部倾斜的内底面，所述侧壁是从底部的边部竖立设置。