[发明专利]一种电泵氮化物悬空圆环光频梳激光器及其制备方法

权利要求书

1.一种电泵氮化物悬空圆环光频梳激光器，其特征在于，所述激光器以硅基氮化物外延片为载体，包括自下而上依次设置的硅衬底层（1）、设置在硅衬底层（1）上表面的n型氮化镓层（2）、量子阱层（3）、p型氮化镓层（4）、设置在所述p型氮化镓层（4）上的二硫化钼层（5）、p型电极（6）、设置在所述n型氮化镓层（2）上表面中心的n型电极（7）；所述激光器具有圆环微腔结构，所述圆环微腔结构的下方由硅衬底层（1）支撑，所述n型氮化镓层（2）呈圆盘形状，所述量子阱层（3）、p型氮化镓层（4）与二硫化钼层（5）呈圆环形状。

2.根据权利要求1所述一种电泵氮化物悬空圆环光频梳激光器，其特征在于，所述圆环微腔结构由从下至上依次设置的n型氮化镓层（2）、量子阱层（3）、p型氮化镓层（4）和沉积在圆环微腔上表面的二硫化钼层（5）构成。

3.根据权利要求1所述一种电泵氮化物悬空圆环光频梳激光器，其特征在于，所述p型电极（6）为环形电极，所述n型电极（7）位于p型电极（6）的中心。

4.根据权利要求1所述一种电泵氮化物悬空圆环光频梳激光器，其特征在于，所述硅衬底层（1）形成有硅柱，所述硅柱位于n型氮化镓层（2）下方的中心位置。

5.一种制备权利要求1-4任一项所述电泵氮化物悬空圆环光频梳激光器的方法，其特征在于，所述方法包括：

在硅基氮化物外延片的P型氮化镓层（4）的上表面定义圆环微腔结构的图形；

向下刻蚀氮化物层，直至n型氮化镓层（2）的上表面，将定义出的圆环微腔结构的图形向下转移至硅基氮化镓晶片的p型氮化镓层（4）、量子阱层中（3）；

在硅基氮化物外延片的上表面的中心区域定义n型电极图形；

在定义的n型电极图形上蒸镀Ni/Au，获得n型电极（7）；

在圆环微腔结构的上表面定义出p型区图形；

将单层二硫化钼层（5）沉积到p型区图形上表面；

在p型氮化镓层（4）与二硫化钼层（5）形成的复合微腔上表面定义出p型电极图形；

在定义的p型电极图形上表面蒸镀Ni/Au，使得p型氮化镓层（4）与二硫化钼层（5）形成的复合微腔上表面镀上正电极，获得p型电极（6）；

刻蚀硅衬底层（1）， 在硅衬底层（1）中形成硅柱，用于支撑圆环微腔结构。