[发明专利]一种应用于通信滤光片加工的真空镀膜装置

权利要求书

1.一种应用于通信滤光片加工的真空镀膜装置，包括:

外壳组件（1），其顶部固定安装有真空气泵（2），所述真空气泵（2）的管道固定贯穿安装在所述外壳组件（1）上，且外壳组件（1）由箱壳和密封门两部分构成，密封门通过紧固螺栓固定在箱壳上；

其特征在于，还包括：

储料筒（4），其设置在所述外壳组件（1）的边侧用于存储镀膜原料，所述储料筒（4）的顶部中心处贯通连接由输气管（3）的一端，且输气管（3）的另一端设置在所述外壳组件（1）的内侧，并且输气管（3）水平贯穿于外壳组件（1）的侧壁设置，所述储料筒（4）的底部固定嵌设有用于加热镀料的电热板（5）；

进料管（6），其下端口贯通连接在所述储料筒（4）的侧壁顶部，所述进料管（6）的上端口内壁上螺纹连接有起到密封作用的塞体（7），所述输气管（3）上设置的保护罩内固定安装有第一电机（8），且第一电机（8）的输出轴转动贯穿于所述输气管（3）的侧壁设置。

2.根据权利要求1所述的一种应用于通信滤光片加工的真空镀膜装置，其特征在于：所述输气管（3）的内侧同轴设置有扇叶（9），且扇叶（9）固定安装在所述第一电机（8）的输出轴端部用于带动镀料气体移动。

3.根据权利要求2所述的一种应用于通信滤光片加工的真空镀膜装置，其特征在于：所述输气管（3）的侧壁上贯通连接有竖直设置的喷管（10），且喷管（10）沿着所述输气管（3）等间距分布有5个，并且5个喷管（10）的内径向着扇叶（9）的方向依次递增。

4.根据权利要求1所述的一种应用于通信滤光片加工的真空镀膜装置，其特征在于：所述外壳组件（1）的内壁底部贴合设置有移动台（11），且移动台（11）的两侧对称分布有长条状的导轨（12），并且导轨（12）固定安装在所述外壳组件（1）的内壁上。

5.根据权利要求4所述的一种应用于通信滤光片加工的真空镀膜装置，其特征在于：所述导轨（12）的截面呈“L”形结构，且导轨（12）嵌设在所述移动台（11）的侧壁上构成滑动限位结构，并且移动台（11）的侧壁上固定安装有竖直设置的第二电机（13）。

6.根据权利要求5所述的一种应用于通信滤光片加工的真空镀膜装置，其特征在于：所述第二电机（13）的输出轴上固定安装有动力齿轮（14），且动力齿轮（14）的边侧设置有齿环（15），两者构成啮合传动结构，并且齿环（15）同轴安装在转动盘（16）的侧壁上，而且转动盘（16）的竖轴转动嵌设在所述移动台（11）上。

7.根据权利要求6所述的一种应用于通信滤光片加工的真空镀膜装置，其特征在于：所述转动盘（16）的上表面贴合设置有载物盘（17），且载物盘（17）上开设有用于放置滤光片的圆孔，并且载物盘（17）的圆孔内设置有用于支撑滤光片的凸环，所述载物盘（17）的底面边缘处垂直安装有等角度分布的定位柱（18），且定位柱（18）滑动插设在所述转动盘（16）顶部开设的安装孔内，并且载物盘（17）的顶部中心处设置有呈“T”字形的拉杆。