[发明专利]一种应用于通信滤光片加工的真空镀膜装置在审

专利信息
申请号: 202111356185.6 申请日: 2021-11-16
公开(公告)号: CN114150284A 公开(公告)日: 2022-03-08
发明(设计)人: 刘毅楠 申请(专利权)人: 苏州文迪光电科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/26
代理公司: 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 代理人: 胡涛
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 应用于 通信 滤光 加工 真空镀膜 装置
【说明书】:

发明公开了一种应用于通信滤光片加工的真空镀膜装置,包括:外壳组件,其顶部固定安装有真空气泵,所述真空气泵的管道固定贯穿安装在所述外壳组件上,且外壳组件由箱壳和密封门两部分构成,密封门通过紧固螺栓固定在箱壳上;还包括:储料筒,其设置在所述外壳组件的边侧用于存储镀膜原料,所述储料筒的顶部中心处贯通连接由输气管的一端,且输气管的另一端设置在所述外壳组件的内侧,并且输气管水平贯穿于外壳组件的侧壁设置。该应用于通信滤光片加工的真空镀膜装置,其设置有备滤光片的大批量转移结构,滤光片的拿取更加便捷,不需要多次重复操作,从而提高了工作效率,降低了劳动强度。

技术领域

本发明涉及滤光片加工技术领域,具体为一种应用于通信滤光片加工的真空镀膜装置。

背景技术

通信滤光片加工过程中,需要使用镀膜装置将镀膜原料覆盖在滤光片的表面,形成保护层或功能层,然而现有的真空镀膜装置仍存在一些问题。

例如公开号为CN211522313U的一种滤光片蒸发镀膜装置,包括真空镀膜机和转板,所述转板通过转动杆可转动的固定在真空镀膜机的内部,且转板的转动杆与真空镀膜机外壁上固定的步进电机传动连接,所述转板的上端和下端表面均固定有固定板……。其没有设置备滤光片的大批量转移结构,使用者需要通过多次重复操作将单个滤光片取出,从而降低了工作效率,提高了劳动强度。

针对上述问题,急需在原有真空镀膜装置的基础上进行创新设计。

发明内容

本发明的目的在于提供一种应用于通信滤光片加工的真空镀膜装置,以解决上述背景技术提出现有的真空镀膜装置,其没有设置备滤光片的大批量转移结构,使用者需要通过多次重复操作将单个滤光片取出,从而降低了工作效率,提高了劳动强度的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种应用于通信滤光片加工的真空镀膜装置,包括:

外壳组件,其顶部固定安装有真空气泵,所述真空气泵的管道固定贯穿安装在所述外壳组件上,且外壳组件由箱壳和密封门两部分构成,密封门通过紧固螺栓固定在箱壳上;

还包括:

储料筒,其设置在所述外壳组件的边侧用于存储镀膜原料,所述储料筒的顶部中心处贯通连接由输气管的一端,且输气管的另一端设置在所述外壳组件的内侧,并且输气管水平贯穿于外壳组件的侧壁设置,所述储料筒的底部固定嵌设有用于加热镀料的电热板;

进料管,其下端口贯通连接在所述储料筒的侧壁顶部,所述进料管的上端口内壁上螺纹连接有起到密封作用的塞体,所述输气管上设置的保护罩内固定安装有第一电机,且第一电机的输出轴转动贯穿于所述输气管的侧壁设置。

优选的,所述输气管的内侧同轴设置有扇叶,且扇叶固定安装在所述第一电机的输出轴端部用于带动镀料气体移动,使得第一电机能够带动扇叶转动。

优选的,所述输气管的侧壁上贯通连接有竖直设置的喷管,且喷管沿着所述输气管等间距分布有5个,并且5个喷管的内径向着扇叶的方向依次递增,构成气体喷出结构。

优选的,所述外壳组件的内壁底部贴合设置有移动台,且移动台的两侧对称分布有长条状的导轨,并且导轨固定安装在所述外壳组件的内壁上,使得移动台能够沿着导轨移动。

优选的,所述导轨的截面呈“L”形结构,且导轨嵌设在所述移动台的侧壁上构成滑动限位结构,并且移动台的侧壁上固定安装有竖直设置的第二电机,使得移动台能够和第二电机同步移动。

优选的,所述第二电机的输出轴上固定安装有动力齿轮,且动力齿轮的边侧设置有齿环,两者构成啮合传动结构,并且齿环同轴安装在转动盘的侧壁上,而且转动盘的竖轴转动嵌设在所述移动台上,使得第二电机能够带动齿环转动。

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