[发明专利]一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置

权利要求书

1.一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置，包括蒸镀箱体(1)，其特征在于，所述蒸镀箱体(1)内壁两侧均胶接有密封板(2)，两块所述密封板(2)将蒸镀箱体(1)分成出料腔(3)、蒸镀腔(4)和进料腔(5)，所述蒸镀腔(4)底侧和顶侧分别安装有加热组件(6)和监控组件(7)，蒸镀腔(4)下端前侧还安装有密封门体(8)；

所述密封板(2)下端背离蒸镀腔(4)一侧均转动阻尼连接有旋柱(9)，旋柱(9)外壁均套设固定有安装套(10)，安装套(10)上端均固定有翻转框(11)，所述翻转框(11)上下侧内壁转动有夹持辊(12)，翻转框(11)外顶面均固定有半齿轮(13)，所述密封板(2)上端背离蒸镀腔(4)一侧还转动连接有驱动杆(14)，驱动杆(14)外壁靠近蒸镀腔(4)一侧均固定有驱动齿轮(15)，驱动齿轮(15)与半齿轮(13)均啮合连接，同侧两个所述驱动杆(14)之间中部均转动连接有齿轮组一(16)，所述蒸镀箱体(1)上端两侧均焊接有水平架(17)，水平架(17)顶面均通过螺钉固接有伺服电机(18)，驱动杆(14)背离蒸镀腔(4)一端均延伸至蒸镀箱体(1)外壁并与伺服电机(18)固定连接；

所述出料腔(3)和进料腔(5)背离蒸镀腔(4)一侧均设置有输送框(19)，输送框(19)与出料腔(3)和进料腔(5)内壁之间均固定有连接杆(20)，所述输送框(19)上下侧转动连接有输送辊(21)，两个所述输送辊(21)上端均延伸至输送框(19)外侧并转动连接有齿轮组二(22)，其中一根所述输送辊(21)顶部还固定有联动杆(23)，联动杆(23)与正上侧所述驱动杆(14)之间转动连接有锥齿轮组(24)。

2.根据权利要求1所述的一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置，其特征在于，所述加热组件(6)包括加热箱，加热箱固定在蒸镀腔(4)底面外侧，所述加热箱内壁安装有螺旋状电热管，且电热管一端延伸至蒸镀腔(4)内。

3.根据权利要求1所述的一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置，其特征在于，所述监控组件(7)包括检测盒，检测盒固定在蒸镀腔(4)顶面外侧，所述检测盒内侧安装有温度检测仪和压力检测仪。

4.根据权利要求3所述的一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置，其特征在于，所述温度检测仪和压力检测仪的检测端均延伸至蒸镀腔(4)内侧。

5.根据权利要求1或2所述的一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置，其特征在于，所述夹持辊(12)设有两个并对称分布在翻转框(11)前后侧，且两个所述夹持辊(12)之间的距离与金属化薄膜的厚度相吻合。

6.根据权利要求1所述的一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置，其特征在于，所述驱动杆(14)均设有两个并对称分布在出料腔(3)和进料腔(5)上端前后侧，且驱动杆(14)与蒸镀箱体(1)侧壁均通过滚动轴承转动连接。

7.根据权利要求1或3所述的一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置，其特征在于，所述驱动齿轮(15)为不完全齿轮，且驱动齿轮(15)外圈三分之一位置设有连续轮齿，同侧两个所述驱动齿轮(15)的初始安装位置一致。

8.根据权利要求1所述的一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀箱体(1)两侧和密封板(2)上均开设有矩形槽。

9.根据权利要求1所述的一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置，其特征在于，所述输送辊(21)均设有两个并对称分布在输送框(19)前后侧位置，且两个所述输送辊(21)之间的距离金属薄膜的厚度相吻合。