[发明专利]一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置

说明书

本发明公开了一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置，包括蒸镀箱体，所述蒸镀箱体内壁两侧均胶接有密封板，两块所述密封板将蒸镀箱体分成出料腔、蒸镀腔和进料腔，所述蒸镀腔底侧和顶侧分别安装有加热组件和监控组件，蒸镀腔下端前侧还安装有密封门体，所述密封板下端背离蒸镀腔一侧均转动阻尼连接有旋柱，旋柱外壁均套设固定有安装套，安装套上端均固定有翻转框，所述翻转框上下侧内壁转动有夹持辊，翻转框外顶面均固定有半齿轮，所述密封板上端背离蒸镀腔一侧还转动连接有驱动杆。本发明设计合理，装置运行稳定，在蒸镀时能实现金属薄膜来回摆动，从而实现金属薄膜双面高质量镀膜作业，进而大大提高了了金属薄膜镀膜制备的效率。

技术领域

本发明涉及金属薄膜生产设备技术领域，尤其涉及一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置。

背景技术

蒸镀是指在一定的真空条件下加热被蒸镀材料，使其熔化(或升华)并形成原子、分子或原子团组成的蒸汽，凝结在基材表面成膜，蒸镀角度是指蒸发束与基片之间的夹角，蒸镀角度会影响蒸镀层的厚度。

经检索，申请号201610476622.0的专利，公开一种电容器金属化安全薄膜蒸镀工艺，包括以下步骤：步骤一、在具有绝缘性质的中间薄膜基质的一面蒸镀一层第一金属镀层，第一金属镀层为铝、或锌、或铝和锌的混合物，中间薄膜基质为聚烯烃材料制成；步骤二、在中间薄膜基质蒸镀有第一金属镀层的一面上覆盖一层具有绝缘性质的第一薄膜介质，使第一金属镀层位于中间薄膜基质和第一薄膜介质之间，且中间薄膜基质和第一薄膜介质紧密贴合，第一薄膜介质为聚烯烃材料制成；步骤三、在中间薄膜基质的另一面蒸镀一层第二金属镀层，第二金属镀层为铝、或锌、或铝和锌的混合物；步骤四、在中间薄膜基质蒸镀有第二金属镀层的一面上覆盖一层具有绝缘性质的第二薄膜介质，使第二金属镀层位于中间薄膜基质和第二薄膜介质之间，且中间薄膜基质和第二薄膜介质紧密贴合，第二薄膜介质为聚烯烃材料制成。

上述装置对金属薄膜的双面蒸镀不便，其严重影响了金属薄膜蒸镀工作的效率和质量，难以满足人们的使用要求，所以研究一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置是很有必要的。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中耗费人力且效率低的问题，而提出的一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置，包括蒸镀箱体，所述蒸镀箱体内壁两侧均胶接有密封板，两块所述密封板将蒸镀箱体分成出料腔、蒸镀腔和进料腔，所述蒸镀腔底侧和顶侧分别安装有加热组件和监控组件，蒸镀腔下端前侧还安装有密封门体，所述密封板下端背离蒸镀腔一侧均转动阻尼连接有旋柱，旋柱外壁均套设固定有安装套，安装套上端均固定有翻转框，所述翻转框上下侧内壁转动有夹持辊，翻转框外顶面均固定有半齿轮，所述密封板上端背离蒸镀腔一侧还转动连接有驱动杆，驱动杆外壁靠近蒸镀腔一侧均固定有驱动齿轮，驱动齿轮与半齿轮均啮合连接，同侧两个所述驱动杆之间中部均转动连接有齿轮组一，所述蒸镀箱体上端两侧均焊接有水平架，水平架顶面均通过螺钉固接有伺服电机，驱动杆背离蒸镀腔一端均延伸至蒸镀箱体外壁并与伺服电机固定连接，所述出料腔和进料腔背离蒸镀腔一侧均设置有输送框，输送框与出料腔和进料腔内壁之间均固定有连接杆，所述输送框上下侧转动连接有输送辊，两个所述输送辊上端均延伸至输送框外侧并转动连接有齿轮组二，其中一根所述输送辊顶部还固定有联动杆，联动杆与正上侧所述驱动杆之间转动连接有锥齿轮组。

优选的，所述加热组件包括加热箱，加热箱固定在蒸镀腔底面外侧，所述加热箱内壁安装有螺旋状电热管，且电热管一端延伸至蒸镀腔内。

优选的，所述监控组件包括检测盒，检测盒固定在蒸镀腔顶面外侧，所述检测盒内侧安装有温度检测仪和压力检测仪。

优选的，所述温度检测仪和压力检测仪的检测端均延伸至蒸镀腔内侧。

优选的，所述夹持辊设有两个并对称分布在翻转框前后侧，且两个所述夹持辊之间的距离与金属化薄膜的厚度相吻合。