[发明专利]一种自适应抛光头

权利要求书

1.一种自适应抛光头，其特征在于，包括：固定座，所述固定座的下表面连接有固定板，所述固定板的下方设置有底板总成，所述固定板与所述底板总成之间夹设有密封膜；所述底板总成的底面设置有用以吸附晶圆的吸附垫；所述固定板与所述密封膜之间设置有第一加压区，所述第一加压区和所述底板总成之间设置有限位块，所述限位块连接所述底板总成表面，所述密封膜设置在所述限位块的下方；

所述固定座的顶面向下贯穿至所述第一加压区设置有第一加压通道，所述固定板的顶面向下贯穿至所述第一加压区设置有调整座；所述调整座下方安装有调整柱，所述调整柱用以限位所述限位块，从而防止底板总成向下脱落；当所述限位块受力向上移动时，所述限位块将脱开所述调整柱的限位，令所述第一加压区与所述限位块的下方连通，用以将所述第一加压区的气体充入所述密封膜内，使所述密封膜膨胀。

2.根据权利要求1所述的自适应抛光头，其特征在于，所述底板总成包括：由上至下依次设置的受压板、过渡板和加压板；所述受压板顶面连接所述限位块，所述密封膜夹设在所述限位块与所述受压板之间。

3.根据权利要求2所述的自适应抛光头，其特征在于，所述受压板通过螺栓连接所述过渡板，所述过渡板的底面连接所述加压板，所述加压板的底面连接所述吸附垫。

4.根据权利要求3所述的自适应抛光头，其特征在于，所述限位块、受压板和过渡板的中部竖直贯穿设置有定位柱，所述定位柱的中心竖直设置有中心加压装置。

5.根据权利要求4所述的自适应抛光头，其特征在于，所述中心加压装置包括：第二加压区和第二加压通道，所述第二加压区贯穿所述定位柱底部至所述加压板的顶面，所述第二加压通道向上贯穿至所述固定座的顶面，所述第二加压通道连通所述第二加压区的顶端。

6.根据权利要求5所述的自适应抛光头，其特征在于，所述密封膜贴合设置有用以稳固安装的连接板。

7.根据权利要求6所述的自适应抛光头，其特征在于，所述固定板的下部环绕设置有用以限位的第一固定环。

8.根据权利要求5所述的自适应抛光头，其特征在于，所述密封膜与所述受压板之间夹设有用以限位的第二固定环。

9.根据权利要求1-8任一项所述的自适应抛光头，其特征在于，所述加压板为非金属板。