[发明专利]一种微孔陶瓷吸附平台及基于其制备无印记产品的方法在审

专利信息
申请号: 202111365112.3 申请日: 2021-11-17
公开(公告)号: CN114063397A 公开(公告)日: 2022-02-18
发明(设计)人: 庞军星;乔晓光;党康康 申请(专利权)人: 华天慧创科技(西安)有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 张宇鸽
地址: 710018 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 微孔 陶瓷 吸附 平台 基于 制备 印记 产品 方法
【权利要求书】:

1.一种微孔陶瓷吸附平台,其特征在于,包括吸附板,吸附板为圆形,吸附板的中心开设有三个第一通孔,吸附板的边缘均匀开设有三个第二通孔;

吸附板为微孔陶瓷板,微孔陶瓷板中,开孔率为40%,孔径大小为10~20μm。

2.根据权利要求1所述的微孔陶瓷吸附平台,其特征在于,微孔陶瓷板的抗弯强度大于40Mpa,抗压强度大于等于600Mpa,HRA硬度大于50;

微孔陶瓷板中,相邻微孔之间设有孔隙,孔隙的大小为5~20μm。

3.根据权利要求1所述的微孔陶瓷吸附平台,其特征在于,微孔陶瓷板包括氧化铝和二氧化硅;

以质量百分数计,微孔陶瓷板中,氧化铝的含量至少为80%,二氧化硅的含量为18%。

4.根据权利要求1所述的微孔陶瓷吸附平台,其特征在于,微孔陶瓷板的耐酸性小于等于10mg/cm2,耐碱性小于20mg/cm2

微孔陶瓷板的体积密度为2.3~2.5g/cm3

5.一种基于权利要求1~4任一项所述微孔陶瓷吸附平台制作无印记产品的方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤1)利用光刻胶在吸附板上进行图形光刻;

步骤2)在光刻后的吸附板表面涂覆黑胶薄膜;

步骤3)对涂覆黑胶薄膜的吸附板依次进行软烤、曝光和固化,得到基于微孔陶瓷吸附平台制作的无印记产品。

6.根据权利要求5所述的基于述微孔陶瓷吸附平台制作无印记产品的方法,其特征在于,光刻胶由感光树脂、增感剂和溶剂混合而成,其中感光树脂、增感剂和溶剂的投料比为(0.2~1)g:1g:10ml。

7.根据权利要求5所述的基于述微孔陶瓷吸附平台制作无印记产品的方法,其特征在于,光刻胶按其形成的图像分为正性、负性两类,

正性光刻胶为线性酚醛树脂;

负性光刻胶为聚乙烯醇月桂酸酯。

8.根据权利要求5所述的基于述微孔陶瓷吸附平台制作无印记产品的方法,其特征在于,

步骤2)中,黑胶薄膜的涂覆厚度为1.2um;

步骤3)中,软烤的条件为:温度90℃下烘烤60s;固化具体是在温度220℃下加热20min。

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