[发明专利]一种微孔陶瓷吸附平台及基于其制备无印记产品的方法在审
申请号: | 202111365112.3 | 申请日: | 2021-11-17 |
公开(公告)号: | CN114063397A | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 庞军星;乔晓光;党康康 | 申请(专利权)人: | 华天慧创科技(西安)有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 张宇鸽 |
地址: | 710018 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 微孔 陶瓷 吸附 平台 基于 制备 印记 产品 方法 | ||
1.一种微孔陶瓷吸附平台,其特征在于,包括吸附板,吸附板为圆形,吸附板的中心开设有三个第一通孔,吸附板的边缘均匀开设有三个第二通孔;
吸附板为微孔陶瓷板,微孔陶瓷板中,开孔率为40%,孔径大小为10~20μm。
2.根据权利要求1所述的微孔陶瓷吸附平台,其特征在于,微孔陶瓷板的抗弯强度大于40Mpa,抗压强度大于等于600Mpa,HRA硬度大于50;
微孔陶瓷板中,相邻微孔之间设有孔隙,孔隙的大小为5~20μm。
3.根据权利要求1所述的微孔陶瓷吸附平台,其特征在于,微孔陶瓷板包括氧化铝和二氧化硅;
以质量百分数计,微孔陶瓷板中,氧化铝的含量至少为80%,二氧化硅的含量为18%。
4.根据权利要求1所述的微孔陶瓷吸附平台,其特征在于,微孔陶瓷板的耐酸性小于等于10mg/cm2,耐碱性小于20mg/cm2;
微孔陶瓷板的体积密度为2.3~2.5g/cm3。
5.一种基于权利要求1~4任一项所述微孔陶瓷吸附平台制作无印记产品的方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1)利用光刻胶在吸附板上进行图形光刻;
步骤2)在光刻后的吸附板表面涂覆黑胶薄膜;
步骤3)对涂覆黑胶薄膜的吸附板依次进行软烤、曝光和固化,得到基于微孔陶瓷吸附平台制作的无印记产品。
6.根据权利要求5所述的基于述微孔陶瓷吸附平台制作无印记产品的方法,其特征在于,光刻胶由感光树脂、增感剂和溶剂混合而成,其中感光树脂、增感剂和溶剂的投料比为(0.2~1)g:1g:10ml。
7.根据权利要求5所述的基于述微孔陶瓷吸附平台制作无印记产品的方法,其特征在于,光刻胶按其形成的图像分为正性、负性两类,
正性光刻胶为线性酚醛树脂;
负性光刻胶为聚乙烯醇月桂酸酯。
8.根据权利要求5所述的基于述微孔陶瓷吸附平台制作无印记产品的方法,其特征在于,
步骤2)中,黑胶薄膜的涂覆厚度为1.2um;
步骤3)中,软烤的条件为:温度90℃下烘烤60s;固化具体是在温度220℃下加热20min。
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