[发明专利]一种采用AI技术检测半导体产品质量的方法在审

专利信息
申请号: 202111367351.2 申请日: 2021-11-18
公开(公告)号: CN115902559A 公开(公告)日: 2023-04-04
发明(设计)人: 孙毅堂;竺时育;汪俊宇;吴芳梅;耿庆栋 申请(专利权)人: 昆山冠天智能科技有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 代理人: 刘洪勋
地址: 215000 江苏省苏州市昆山市花*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 采用 ai 技术 检测 半导体 产品质量 方法
【权利要求书】:

1.一种采用AI技术检测半导体产品质量的方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤1:检测设备对待检测的半导体产品进行检测,并将检测的后的结果显示在显示器上;

步骤2:采用人工的方式对步骤1检测的半导体产品再次进行检测,由人工进行判断对检测设备检测的产品再次确认是否为合格的产品;

步骤21:步骤2中,如果人工检测的半导体产品符合要求,则判定为合格产品;

步骤22:步骤2中,如果人工检测的半导体产品不符合检测的要求,则将其判定为不合格产品;

步骤23:在步骤22中,如果出现不合格的半导体产品,需要将不合格的地方进行标注,并将该不符合的信息输入至检测设备中,让检测设备拥有人工检测到不同的信息;

步骤24:在完成步骤23后,需要对产品再次通过步骤2进行检测,此时由检测设备对产品进行再次检测,如果出现产品的问题与人工检测的检测前的问题一致,则判定产品为不合格;

步骤3:在对步骤1和步骤2不间断的融合检测后,通过检测设备对半导体产品进行检测。

2.根据权利要求1所述的一种采用AI技术检测半导体产品质量的方法,其特征在于:在步骤1中,如果步骤1中直接出现不合格产品,则不要再次通过人工的方式进行检测。

3.根据权利要求1或2所述的一种采用AI技术检测半导体产品质量的方法,其特征在于:所述检测设备为具有深度学习的AI检测设备。

4.根据权利要求1所述的一种采用AI技术检测半导体产品质量的方法,其特征在于:所述步骤3中不间断的融合检测是指人工对产品的缺陷的检测,并将有缺陷的地方输入至检测设中进行不断的更新检测的缺陷,达到不断学习新的产品缺陷的目的。

5.根据权利要求1所述的一种采用AI技术检测半导体产品质量的方法,其特征在于:所述检测设备在后期带有深度学习的检测设备检测的产品进行抽样检测,如果抽样检测还存在不合格的产品,则依照步骤2至步骤3的方式进行深度学习。

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