[发明专利]一种晶圆喷砂双供料机

权利要求书

1.一种晶圆喷砂双供料机，其包括喷砂机(2)，喷砂机(2)包括喷砂机本体(21)和履带输送机(22)，所述喷砂机本体(21)设置在履带输送机(22)中部的上端，所述履带输送机(22)的两端伸出喷砂机本体(21)，其特征在于：

所述喷砂机(2)设置有两台，所述喷砂机(2)分别设置在双供料机(1)的左右两侧，所述双供料机(1)包括工作台(3)、双供料机构(4)、搬运机构(5)、输送机构(6)和放料机械手(7)，双供料机构(4)设置在工作台(3)的前部，其包括结构相同的左供料机构和右供料机构，其用于储放晶圆(8)，所述输送机构(6)设置有两个且设置在工作台(3)的中部，两个所述输送机构(6)分别设置在左供料机构和右供料机构的后侧，所述搬运机构(5)用于将晶圆(8)从双供料机构(4)内搬运到输送机构(6)上，其设置有两个且分别设置在两个所述输送机构(6)的外侧，所述输送机构(6)上设置有用于检测单双片的传感器(63)，当输送机构(6)上的晶圆(8)为单片时，通过放料机械手(7)将晶圆(8)搬运到履带输送机(22)上，所述放料机械手(7)左右对称设置有两个，其分别设置在两个所述输送机构(6)的后侧。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆喷砂双供料机，其特征在于：所述左供料机构包括第一安装板(41)、顶升机构(42)、顶盘(43)、顶升杆(44)、定位座(45)和定位杆(46)，顶升机构(42)固定在第一安装板(41)的下方，其输出端与顶升杆(44)固定连接，所述顶升杆(44)的上端固定安装有顶盘(43)，所述第一安装板(41)的上方设置有定位座(45)，所述定位座(45)上成环形阵列设置有若干个定位杆(46)，所述定位座(45)的中心处开设有用于通过顶盘(43)的避让孔，晶圆(8)放置在定位杆(46)的中间。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆喷砂双供料机，其特征在于：所述左供料机构还包括导向座(47)、第一气缸(48)和支座(49)，所述导向座(47)上开设有导向槽(471)，所述导向槽(471)的后侧为一字槽，其前侧为弧型槽，所述定位座(45)的左右两端通过销轴设置在导向槽(471)内，所述定位座(45)的后方设置有第一气缸(48)，所述第一气缸(48)的活塞杆与定位座(45)的后端转动连接，其后端转动安装在支座(49)上。

4.根据权利要求2或3所述的一种晶圆喷砂双供料机，其特征在于：所述顶升机构(42)包括第二安装板(421)、第一电机(422)、固定杆(423)、螺杆(424)和螺纹座(425)，所述第二安装板(421)平行设置在第一安装板(41)的下方，所述固定杆(423)固定在第一安装板(41)和第二安装板(421)之间，所述第二安装板(421)的下端固定有第一电机(422)，所述第一电机(422)的电机轴伸出第二安装板(421)且与螺杆(424)固定连接，所述螺杆(424)上安装有螺纹座(425)，所述顶升杆(44)的下端安装在螺纹座(425)上。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆喷砂双供料机，其特征在于：所述搬运机构(5)包括第三安装板(51)、第二气缸(52)、支撑块(53)、导轨(54)、滑块(55)、第四安装板(56)、第三气缸(57)和第一吸盘(58)，所述第三安装板(51)固定在工作台(3)上，所述第三安装板(51)的上端安装有第二气缸(52)和支撑块(53)，所述支撑块(53)的上端固定有导轨(54)，滑块(55)前后滑动安装在导轨(54)上，所述第二气缸(52)的活塞杆与滑块(55)相连接，所述滑块(55)的上端固定安装有第四安装板(56)，所述第四安装板(56)上安装有第三气缸(57)，所述第三气缸(57)的下端安装有第一吸盘(58)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆喷砂双供料机，其特征在于：所述输送机构(6)包括传输机(61)、第二电机(62)、传感器(63)和收料盒(64)，所述传输机(61)沿Y轴设置，其与第二电机(62)传动连接，所述收料盒(64)设置在传输机(61)远离双供料机构(4)的一端的尾部，其向下倾斜设置，所述传感器(63)设置有若干个，其安装在晶圆(8)的传输路径上。