[发明专利]带剥离装置在审

专利信息
申请号: 202111383453.3 申请日: 2021-11-22
公开(公告)号: CN114551287A 公开(公告)日: 2022-05-27
发明(设计)人: 铃木邦重 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 杨俊波;乔婉
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 剥离 装置
【权利要求书】:

1.一种带剥离装置,该带剥离装置具有:

保持工作台,其具有对在上表面上粘贴有保护带的晶片的下表面进行保持的保持面;

至少两个卷支承部,它们将呈卷状卷绕有带状的剥离带的带卷支承为能够旋转;

把持部,其对从该带卷的外周拉出的该剥离带进行把持;以及

粘贴部,其将该把持部所把持的该剥离带粘贴于该保护带的外周部分上,

使把持着粘贴于该保护带的外周部分上的该剥离带的该把持部与晶片在相互分开的方向上相对地移动而将该保护带剥离,

其中,

该带剥离装置具有切换单元,该切换单元以能够由该把持部把持的方式对一方的该卷支承部所支承的一方的该剥离带和另一方的该卷支承部所支承的另一方的该剥离带进行切换,

该切换单元具有板和移动单元,

该板至少配置有两个剥离带提供部,该剥离带提供部具有:该卷支承部;带保持部,其对从该卷支承部拉出的该剥离带进行保持;以及切割器,其在该带保持部与该粘贴部之间将该剥离带切断,

该移动单元以能够由该把持部把持该带保持部所保持的该剥离带的端部的方式使该板移动。

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