[发明专利]一种晶圆匀胶烘烤机在审

专利信息
申请号: 202111385293.6 申请日: 2021-11-22
公开(公告)号: CN114100970A 公开(公告)日: 2022-03-01
发明(设计)人: 高波 申请(专利权)人: 苏州康沃斯智能装备有限公司
主分类号: B05C5/02 分类号: B05C5/02;B05C9/14;B05C11/10;B05C13/02;B05D3/02;B65G43/08;B65G47/90
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶圆匀胶 烘烤
【权利要求书】:

1.一种晶圆匀胶烘烤机,其包括机架(1),其特征在于:

所述机架(1)上表面设置有收供料架(2)、机械手(3)、匀胶模组(4)和烘烤台(5),机械手(3)设置在机架(1)的中心处,所述收供料架(2)、匀胶模组(4)和烘烤台(5)设置在机械手(3)的外侧,所述收供料架(2)用于放置晶圆(8),所述匀胶模组(4)包括涂胶机构(6)和匀胶甩干机构(7),所述涂胶机构(6)设置在匀胶甩干机构(7)的上方,所述涂胶机构(6)用于对晶圆(8)进行涂胶,所述匀胶甩干机构(7)用于抹匀晶圆(8)上的胶,所述烘烤台(5)用于对涂完胶的晶圆(8)进行烘干,所述机械手(3)将晶圆(8)从收供料架(2)内取出后,然后放置到匀胶模组(4)进行涂胶并抹匀,涂完胶后再将晶圆(8)转移到烘烤台(5)上,最后将烘干的晶圆(8)放置到收供料架(2)内。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆匀胶烘烤机,其特征在于:所述机架(1)的上设置有防护罩(9),所述防护罩(9)的上端设置有空气净化风机(10)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆匀胶烘烤机,其特征在于:所述收供料架(2)包括篮具架(21)、光纤感应器(25)和两个篮具(23),所述篮具架(21)上开设有两个进料口(22),两个篮具(23)可拆卸固定在篮具架(21)上,所述篮具(23)上等距离开设有若干个用于放置单个晶圆(8)的储料格(24),所述储料格(24)的开口方向朝向进料口(22),所述光纤感应器(25)固定在篮具架(21)上且位于篮具(23)的下方,其用于检测篮具(23)内的晶圆(8)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆匀胶烘烤机,其特征在于:所述机械手(3)包括安装盘(301)、第一机械臂(302)和第二机械臂(303),所述第一机械臂(302)和第二机械臂(303)上下平行设置,其安装在安装盘(301)的上方,所述安装盘(301)的下端安装有旋转升降装置,所述第一机械臂(302)和第二机械臂(303)分别和一个驱动机构相连接,其一端与接料叉固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆匀胶烘烤机,其特征在于:所述驱动机构用于控制第一机械臂(302)或第二机械臂(303)的伸出或收缩,其包括第一电机(304)、第一同步带轮、第一同步带(305)、导轨(306)和滑块(307),两个第一同步带轮转动安装在安装盘(301)上,第一同步带(305)套设在两个第一同步带轮上,一个第一同步带轮与第一电机(304)的电机轴固定连接,导轨(306)设置在两个第一同步带轮之间,滑块(307)的下端滑动安装在导轨(306)上,其上端与第一机械臂(302)或第二机械臂(303)固定连接,其中段固定在单侧的第一同步带(305)上。

6.根据权利要求4或5所述的一种晶圆匀胶烘烤机,其特征在于:所述旋转升降装置用于控制安装盘(301)的旋转和升降,其包括转盘(308),所述转盘(308)固定在安装盘(301)的下端,其通过同步带组件与第二电机(309)相连接,所述第二电机(309)用于控制转盘(308)旋转,所述转盘(308)的下端中心处转动安装有螺杆(310),其下方从上到下平行设置有第一安转板(313)和第二安装板(314),所述第一安转板(313)上转动安装有螺纹座(315),所述螺杆(310)安装在螺纹座(315)内且其下端伸出螺纹座(315),所述螺纹座(315)的下端固定安装有一个第二同步带轮,所述第二同步带轮通过第二同步带(312)与第三电机(311)相连接。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆匀胶烘烤机,其特征在于:所述涂胶机构(6)包括第四电机(61)、第三机械臂(62)和胶枪(63),所述第三机械臂(62)的一端固定在第四电机(61)上,其另一端与胶枪(63)相连接。

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