[发明专利]一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机在审
申请号: | 202111387376.9 | 申请日: | 2021-11-22 |
公开(公告)号: | CN116139653A | 公开(公告)日: | 2023-05-23 |
发明(设计)人: | 蔡鹏;洪布双;何飞 | 申请(专利权)人: | 江苏德润光电科技有限公司 |
主分类号: | B01D53/06 | 分类号: | B01D53/06;B28D5/00;B28D7/00 |
代理公司: | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 | 代理人: | 王世超 |
地址: | 225600 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 带有 尾气 净化 功能 多晶 硅片 切片机 | ||
1.一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机,其特征在于:包括,
基础组件(1),所述基础组件(1)包括多晶硅片切片机主体(11),所述多晶硅片切片机主体(11)顶部设置有引风机(12),所述引风机(12)的输入端通过管道与多晶硅片切片机主体(11)的排气端连通,所述引风机(12)的输出端设置有相连通的排气管(13);
净化装置(2),所述净化装置(2)包括筒体(21),且筒体(21)内活动设置有外筒(22),所述外筒(22)内活动设置有相配合的内筒(216),所述内筒(216)和外筒(22)的圆周外壁均匀开设有渗孔(23),所述内筒(216)和外筒(22)之间填充有活性炭颗粒,所述内筒(216)内腔顶部和内腔底部分别插设有连接气管(26)和支撑柱,所述连接气管(26)另一端上下活动贯穿筒体(21)并通过轴承与排气管(13)另一端转动连通,所述支撑柱底部通过轴承与筒体(21)底部内壁转动连接,所述外筒(22)内腔顶部和内腔底部均固定设置有对接座(25),两组所述对接座(25)相背一侧均呈弧形,顶部和底部所述对接座(25)分别活动贯穿筒体(21)顶部和底部,所述对接座(25)一侧上下贯穿开设有与外筒(22)内腔连通的弧形口,两组所述对接座(25)相背一侧均可拆卸设置有相适配的弧形封板(27),所述筒体(21)底部且处于外筒(22)外侧的位置插设有相连通的出气管(24)。
2.根据权利要求1所述的一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机,其特征在于:顶部所述对接座(25)外壁顶部固定套设有连接盘(29),且连接盘(29)底部环形阵列设置有多组弹簧(28),且弹簧(28)底部与筒体(21)顶部连接。
3.根据权利要求2所述的一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机,其特征在于:所述筒体(21)顶部右侧设置有双轴驱动装置(210),且双轴驱动装置(210)顶部输出端和连接气管(26)外壁通过齿轮组(211)啮合传动连接。
4.根据权利要求3所述的一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机,其特征在于:所述双轴驱动装置(210)底部输出端贯穿筒体(21)顶部并固定套设有驱动盘(212),且驱动盘(212)处于外筒(22)顶部右侧上方,所述驱动盘(212)底部一体成型设置有与外筒(22)配合的弧形凸块(214)。
5.根据权利要求4所述的一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机,其特征在于:所述外筒(22)顶部右侧设置有接触杆(213),且接触杆(213)顶部活动设置有与驱动盘(212)底部贴合的滚珠。
6.根据权利要求5所述的一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机,其特征在于:所述筒体(21)底部两侧设置有支撑架,两组支撑架之间底部设置有垫板,且垫板顶部设置有搅拌杆(215),所述搅拌杆(215)顶部活动贯穿筒体(21)底部和支撑柱并处于内筒(216)内腔中央,所述搅拌杆(215)处于内筒(216)内腔的外壁从上至下设置有多组叶片(217)。
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