[发明专利]一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机在审

专利信息
申请号: 202111387376.9 申请日: 2021-11-22
公开(公告)号: CN116139653A 公开(公告)日: 2023-05-23
发明(设计)人: 蔡鹏;洪布双;何飞 申请(专利权)人: 江苏德润光电科技有限公司
主分类号: B01D53/06 分类号: B01D53/06;B28D5/00;B28D7/00
代理公司: 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 代理人: 王世超
地址: 225600 江*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 带有 尾气 净化 功能 多晶 硅片 切片机
【说明书】:

发明公开了多晶硅片切片机技术领域的一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机,包括,基础组件,所述基础组件包括多晶硅片切片机主体;净化装置,所述净化装置包括筒体,所述外筒内活动设置有相配合的内筒,所述内筒和外筒的圆周外壁均匀开设有渗孔,所述内筒和外筒之间填充有活性炭颗粒。本发明设置有净化装置,在外筒和内筒之间设置有活性炭颗粒,在长期使用后,可通过拆除底部弧形封板,使得内部的活性碳颗粒向下排出,通过拆除顶部弧形封板,即可更换新的活性炭颗粒,大大降低人工劳动强度,提高工作效率。

技术领域

本发明涉及多晶硅片切片机技术领域,具体为一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机。

背景技术

多晶硅片,是单质硅的一种形态,熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。现有的多晶硅片切片机在对多晶硅片进行工作时,会产生大量的尾气,现有的多晶硅片切片机不带有净化装置,部分带有净化装置的多晶硅片切片机废气净化质量较差,在长期使用后不方便对内部的过滤结构进行更换,使用寿命较短。为此,我们提出一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机。

发明内容

本发明的目的在于提供一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机,包括,

基础组件,所述基础组件包括多晶硅片切片机主体,所述多晶硅片切片机主体顶部设置有引风机,所述引风机的输入端通过管道与多晶硅片切片机主体的排气端连通,所述引风机的输出端设置有相连通的排气管;

净化装置,所述净化装置包括筒体,且筒体内活动设置有外筒,所述外筒内活动设置有相配合的内筒,所述内筒和外筒的圆周外壁均匀开设有渗孔,所述内筒和外筒之间填充有活性炭颗粒,所述内筒内腔顶部和内腔底部分别插设有连接气管和支撑柱,所述连接气管另一端上下活动贯穿筒体并通过轴承与排气管另一端转动连通,所述支撑柱底部通过轴承与筒体底部内壁转动连接,所述外筒内腔顶部和内腔底部均固定设置有对接座,两组所述对接座相背一侧均呈弧形,顶部和底部所述对接座分别活动贯穿筒体顶部和底部,所述对接座一侧上下贯穿开设有与外筒内腔连通的弧形口,两组所述对接座相背一侧均可拆卸设置有相适配的弧形封板,所述筒体底部且处于外筒外侧的位置插设有相连通的出气管。

优选的,顶部所述对接座外壁顶部固定套设有连接盘,且连接盘底部环形阵列设置有多组弹簧,且弹簧底部与筒体顶部连接。

优选的,所述筒体顶部右侧设置有双轴驱动装置,且双轴驱动装置顶部输出端和连接气管外壁通过齿轮组啮合传动连接。

优选的,所述双轴驱动装置底部输出端贯穿筒体顶部并固定套设有驱动盘,且驱动盘处于外筒顶部右侧上方,所述驱动盘底部一体成型设置有与外筒配合的弧形凸块。

优选的,所述外筒顶部右侧设置有接触杆,且接触杆顶部活动设置有与驱动盘底部贴合的滚珠。

优选的,所述筒体底部两侧设置有支撑架,两组支撑架之间底部设置有垫板,且垫板顶部设置有搅拌杆,所述搅拌杆顶部活动贯穿筒体底部和支撑柱并处于内筒内腔中央,所述搅拌杆处于内筒内腔的外壁从上至下设置有多组叶片。

与现有技术相比,本发明的有益效果是:本发明设置有净化装置,在外筒和内筒之间设置有活性炭颗粒,在长期使用后,可通过拆除底部弧形封板,使得内部的活性碳颗粒向下排出,通过拆除顶部弧形封板,即可更换新的活性炭颗粒,大大降低人工劳动强度,提高工作效率,同时设置有双轴驱动装置、齿轮组、驱动盘、接触杆和弧形凸块,可使得连接气管带动内筒转动,使得外筒上下往复运动,使得废气再从内筒外壁向外侧渗出通过活性炭颗粒过滤时质量更高,同时外筒上下往复移动发生震动,方便更好的在更换活性炭颗粒,同时设置有搅拌杆和叶片,进一步提高气体净化效率和质量。

附图说明

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏德润光电科技有限公司,未经江苏德润光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111387376.9/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top