[发明专利]通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法和装置

权利要求书

1.一种通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法，其特征在于，所述方法包括：

检测光罩的当前对位标记；

判断所述当前对位标记与镜头视野中央是否重合；

如果不重合，则根据所述当前对位标记计算差异值；

将所述差异值补偿到切换后的产品的当前玻璃片中，并检测所述当前玻璃片的偏移量；

将所述当前玻璃片的偏移量补偿到下一玻璃片中，并检测补偿结果。

2.根据权利要求1所述的通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法，其特征在于，所述根据所述当前对位标记计算差异值，包括：

计算所述当前对位标记偏离所述镜头视野中央的当前光罩偏移量；

根据所述当前光罩偏移量和前一光罩偏移量，计算所述差异值。

3.根据权利要求1所述的通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法，其特征在于，在检测所述补偿结果后，所述方法还包括：

判断所述补偿结果是否满足要求；

如果不满足，则加量所述补偿结果。

4.根据权利要求1所述的通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法，其特征在于，在检测所述光罩的当前对位标记前，所述方法还包括：

将所述光罩设置在所述镜头上进行对位。

5.一种通过监控掩膜版补偿制程偏移量的装置，其特征在于，所述装置包括：

检测单元，用于检测光罩的当前对位标记；

第一判断单元，用于判断所述当前对位标记与镜头视野中央是否重合；

差异值计算单元，用于在不重合的情况下，根据所述当前对位标记计算差异值；

第一补偿单元，用于将所述差异值补偿到切换后的产品的当前玻璃片中，并检测所述当前玻璃片的偏移量；

第二补偿单元，用于将所述当前玻璃片的偏移量补偿到下一玻璃片中，并检测补偿结果。

6.根据权利要求5所述的通过监控掩膜版补偿制程偏移量的装置，其特征在于，所述差异值计算单元具体用于：

计算所述当前对位标记偏离所述镜头视野中央的当前光罩偏移量；

根据所述当前光罩偏移量和前一光罩偏移量，计算所述差异值。

7.根据权利要求5所述的通过监控掩膜版补偿制程偏移量的装置，其特征在于，所述装置还包括：

第二判断单元，用于在检测所述补偿结果后，判断所述补偿结果是否满足要求；如果不满足，则加量所述补偿结果。

8.根据权利要求5所述的通过监控掩膜版补偿制程偏移量的装置，其特征在于，所述装置还包括：

对位单元，用于在检测所述光罩的当前对位标记前，将所述光罩设置在所述镜头上进行对位。

9.一种电子设备，包括存储器、处理器，所述存储器上存储有可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述权利要求1至4任一项所述的方法。

10.一种具有处理器可执行的非易失的程序代码的计算机可读介质，其特征在于，所述程序代码使所述处理器执行所述权利要求1至4任一项所述的方法。