[发明专利]控制晶棒冷却时间的方法和装置

权利要求书

1.一种控制晶棒冷却时间的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

将所述晶棒从主室移至具有通风窗的副室进行冷却，所述通风窗上设有用于调节所述通风窗开度的调节门；

调节所述调节门使所述通风窗的开度在第一预定时间内由最小值调节至最大值；

在将所述晶棒移至所述副室之后调节所述调节门之前，利用冷却气体吹扫所述晶棒，在利用冷却气体吹扫所述晶棒后还包括以下步骤：经过第二预定时间后，利用所述冷却气体将所述副室充至常压；经过第三预定时间后，所述通风窗开始调节开度，所述通风窗的开度与时间成指数函数关系；

其中，所述通风窗为多个且沿所述副室的轴向间隔设置，多个所述通风窗的尺寸由靠近所述主室至远离所述主室的方向逐渐增大，和/或多个所述通风窗的平均开度变化速率由靠近所述主室至远离所述主室的方向逐渐增大，和/或多个所述通风窗由远离所述主室至靠近所述主室的方向逐一开始调节开度且相邻两个所述通风窗间隔预定间隔时间；

利用冷却导流装置引导冷却气体吹扫所述晶棒，所述冷却导流装置设在所述副室内且由上至下向内倾斜延伸，所述晶棒的上端适于伸入所述冷却导流装置。

2.根据权利要求1所述的控制晶棒冷却时间的方法，其特征在于，在所述第一预定时间内调节所述调节门使所述通风窗的开度与时间成正相关。

3.根据权利要求2所述的控制晶棒冷却时间的方法，其特征在于，所述通风窗的平均开度变化速率随时间变化逐渐增大。

4.根据权利要求1所述的控制晶棒冷却时间的方法，其特征在于，在所述通风窗的开度达到所述最大值之后，通过所述通风窗向所述副室鼓风。

5.一种控制晶棒冷却时间的装置，其特征在于，包括：

主室；

副室，所述副室上设有通风窗，所述通风窗上设有用于调节所述通风窗开度的调节门；

驱动装置，所述驱动装置与所述调节门传动连接以驱动所述调节门调节所述通风窗的开度；

控制器，所述控制器在晶棒冷却阶段的至少一部分时间内控制所述驱动装置驱动所述调节门以使所述通风窗的开度在预定时间内由最小值调节至最大值，所述通风窗的开度与时间成指数函数关系；

冷却导流装置，所述副室上设有向所述副室内通入冷却气体的冷却气体进口，所述冷却导流装置与所述冷却气体进口连通，所述冷却导流装置构造为引导所述冷却气体吹扫所述晶棒表面，所述冷却导流装置设在所述副室内且由上至下向内倾斜延伸，所述晶棒的上端适于伸入所述冷却导流装置；

其中，所述通风窗为多个且沿所述副室的轴向间隔设置，多个所述通风窗的尺寸由靠近所述主室至远离所述主室的方向逐渐增大，和/或多个所述通风窗的平均开度变化速率由靠近所述主室至远离所述主室的方向逐渐增大，和/或多个所述通风窗由远离所述主室至靠近所述主室的方向逐一开始调节开度且相邻两个所述通风窗间隔预定间隔时间。

6.根据权利要求5所述的控制晶棒冷却时间的装置，其特征在于，所述控制器控制所述驱动装置驱动所述调节门以使所述通风窗的开度与时间成正相关。

7.根据权利要求6所述的控制晶棒冷却时间的装置，其特征在于，所述通风窗的平均开度变化速率随时间变化逐渐增大。

8.根据权利要求5所述的控制晶棒冷却时间的装置，其特征在于，还包括鼓风装置，所述鼓风装置与所述通风窗连通。