[发明专利]控制晶棒冷却时间的方法和装置

说明书

本发明公开了一种控制晶棒冷却时间的方法和装置，所述方法包括以下步骤：将所述晶棒从主室移至具有通风窗的副室进行冷却，所述通风窗上设有用于调节所述通风窗开度的调节门；调节所述调节门使所述通风窗的开度在第一预定时间内由最小值调节至最大值。根据本发明实施例的控制晶棒冷却时间的方法具有冷却速度快、生产效率高、避免骤冷导致晶棒开裂等优点。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种控制晶棒冷却时间的方法和控制晶棒冷却时间的装置。

背景技术

相关技术中的晶棒生产过程，其晶棒生长结束后的冷却过程较为缓慢，影响生产效率。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种控制晶棒冷却时间的方法，该控制晶棒冷却时间的方法具有冷却速度快、生产效率高、避免骤冷导致晶棒开裂等优点。

为实现上述目的，根据本发明的第一方面的实施例提出一种控制晶棒冷却时间的方法，所述方法包括以下步骤：将所述晶棒从主室移至具有通风窗的副室进行冷却，所述通风窗上设有用于调节所述通风窗开度的调节门；调节所述调节门使所述通风窗的开度在第一预定时间内由最小值调节至最大值。

根据本发明实施例的控制晶棒冷却时间的方法，具有冷却速度快、生产效率高、避免骤冷导致晶棒开裂等优点。

另外，根据本发明上述实施例的控制晶棒冷却时间的方法还可以具有如下附加的技术特征：

根据本发明的一个实施例，在所述第一预定时间内调节所述调节门使所述通风窗的开度与时间成正相关。

根据本发明的一个实施例，所述通风窗的平均开度变化速率随时间变化逐渐增大。

根据本发明的一个实施例，所述通风窗为多个且沿所述副室的轴向间隔设置，多个所述通风窗的尺寸由靠近所述主室至远离所述主室的方向逐渐增大，和/或多个所述通风窗的平均开度变化速率由靠近所述主室至远离所述主室的方向逐渐增大，和/或多个所述通风窗由远离所述主室至靠近所述主室的方向逐一开始调节开度且相邻两个所述通风窗间隔预定间隔时间。

根据本发明的一个实施例，在将所述晶棒移至所述副室之后调节所述调节门之前，利用冷却气体吹扫所述晶棒。

根据本发明的一个实施例，在利用冷却气体吹扫所述晶棒后还包括以下步骤：经过第二预定时间后，利用所述冷却气体将所述副室充至常压；经过第三预定时间后，所述通风窗开始调节开度。

根据本发明的一个实施例，在所述通风窗的开度达到所述最大值之后，通过所述通风窗向所述副室鼓风。

根据本发明的第二方面的实施例提出一种控制晶棒冷却时间的装置，根据本发明第二方面的实施例的控制晶棒冷却时间的装置包括：主室；副室，所述副室上设有通风窗，所述通风窗上设有用于调节所述通风窗开度的调节门；驱动装置，所述驱动装置与所述调节门传动连接以驱动所述调节门调节所述通风窗的开度；控制器，所述控制器在晶棒冷却阶段的至少一部分时间内控制所述驱动装置驱动所述调节门以使所述通风窗的开度在第一预定时间内由最小值调节至最大值。

根据本发明实施例的控制晶棒冷却时间的装置，具有冷却速度快、生产效率高、避免骤冷导致晶棒开裂等优点。

根据本发明的一个实施例，所述控制器控制所述驱动装置驱动所述调节门以使所述通风窗的开度与时间成正相关。

根据本发明的一个实施例，所述通风窗的平均开度变化速率随时间变化逐渐增大。

根据本发明的一个实施例，所述通风窗为多个且沿所述副室的轴向间隔设置，多个所述通风窗的尺寸由靠近所述主室至远离所述主室的方向逐渐增大，和/或多个所述通风窗的平均开度变化速率由靠近所述主室至远离所述主室的方向逐渐增大，和/或多个所述通风窗由远离所述主室至靠近所述主室的方向逐一开始调节开度且相邻两个所述通风窗间隔预定间隔时间。