[发明专利]一种衍射光栅刻蚀机

权利要求书

1.一种衍射光栅刻蚀机，包括机壳（10），其特征在于：所述机壳（10）的内部设有刻蚀腔（11），所述刻蚀腔（11）的右端固定设有入料口（55），所述刻蚀腔（11）的上端设有水平转动机构（12），所述水平转动机构（12）的下端设有竖直移动机构（13），所述竖直移动机构（13）的中部设有角度调整机构（14），所述角度调整机构（14）的前端设有竖直角度调整机构（15）；所述水平转动机构（12）用于调节装置的水平角度，所述角度调整机构（14）和竖直角度调整机构（15）用于调节光栅的竖直角度，所述竖直移动机构（13）用于光栅的竖直位置的调节；所述水平转动机构（12）包括转动设置在所述刻蚀腔（11）上端壁处的竖直转轴（21），所述竖直转轴（21）的下端固定设有水平转动盘（22），所述水平转动盘（22）的上端面处固定设有环形从动齿（23），所述刻蚀腔（11）的左端壁处固定设有水平电机（18），所述水平电机（18）的右端驱动连接水平电机转轴（19），所述水平电机转轴（19）的右端固定连接主动齿轮（20），所述主动齿轮（20）能够和所述环形从动齿（23）啮合传动，所述刻蚀腔（11）的下端壁处固定设有固定台（16），所述固定台（16）的上端固定连接刻蚀平台（17），所述刻蚀平台（17）用于放置待刻蚀的物品，所述水平转动盘（22）的下端面处固定设有连接块（24），所述竖直移动机构（13）包括固定连接在所述连接块（24）下端面处的竖直辅助块（25），所述竖直辅助块（25）的内部设有竖直辅助腔（26），所述竖直辅助腔（26）的右端固定设有竖直移动辅助块（27），所述竖直移动辅助块（27）中设有竖直滑槽（28），所述竖直滑槽（28）中滑动设有竖直滑块（29），所述竖直滑块（29）的下端面处固定设有复位弹簧（34），所述复位弹簧（34）的下端固定连接在所述竖直滑槽（28）的下端面处，所述竖直滑块（29）上固定连接桁架（30）。

2.据权利要求1所述的一种衍射光栅刻蚀机，其特征在于：所述桁架（30）的左端固定连接竖直螺纹块（31），所述竖直辅助腔（26）的下端壁处固定设有竖直螺纹电机（32），所述竖直螺纹电机（32）的上端驱动连接竖直螺纹杆（33），所述竖直螺纹杆（33）能够和所述竖直螺纹块（31）螺纹传动。

3.据权利要求1所述的一种衍射光栅刻蚀机，其特征在于：所述角度调整机构（14）包括固定连接在所述桁架（30）上端的竖直转动操作块（35），所述竖直转动操作块（35）的内部设有竖直转动槽（36），所述竖直转动槽（36）的中部转动设有竖直转动块（37），所述竖直转动块（37）的中部连接设有中部连接杆（38），所述中部连接杆（38）的中部固定设有中部竖直连动杆（39），所述中部竖直连动杆（39）的下端固定设有衍射镜头（43），所述衍射镜头（43）用于光栅的衍射，所述中部竖直连动杆（39）的上端固定设有球槽（40），所述球槽（40）中滚动设有转动球（41）。

4.据权利要求3所述的一种衍射光栅刻蚀机，其特征在于：所述竖直角度调整机构（15）包括固定转动连接在所述刻蚀腔（11）前端壁处的铰接块（54），所述铰接块（54）的左端固定连接伸缩块（45），所述伸缩块（45）的内部设有伸缩腔（46），所述伸缩腔（46）的上下端壁处固定设有伸缩滑槽（47），所述伸缩滑槽（47）中滑动设有伸缩槽滑块（48），所述伸缩槽滑块（48）的中部固定设有伸出块（49），所述伸出块（49）的内部设有螺纹腔（50），所述螺纹腔（50）的右端固定设有伸缩螺纹块（51），所述伸缩腔（46）的右端壁处固定设有伸缩螺纹电机（52），所述伸缩螺纹电机（52）的左端驱动连接水平螺纹杆（53），所述水平螺纹杆（53）能够和所述伸缩螺纹块（51）螺纹传动，所述伸出块（49）的左端固定设有角度联动杆（56），所述角度联动杆（56）的左端固定连接在所述转动球（41）的右端。

5.据权利要求4所述的一种衍射光栅刻蚀机，其特征在于：所述刻蚀腔（11）的左端壁处固定设有光源模块（44），所述光源模块（44）右端贴近所述衍射镜头（43）。