[发明专利]一种3DMEMS探针清洗装置有效
| 申请号： | 202111422497.2 | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN113976520B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 于海超;徐兴光;王艾琳 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200000 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 dmems 探针 清洗 装置 | ||
1.一种3DMEMS探针清洗装置，其特征在于，包括清洗底座(1)、二流体喷嘴(2)、上固定板组件(3)、下固定板组件(4)和3DMEMS探针(5)；所述3DMEMS探针(5)夹持在上固定板组件(3)和下固定板组件(4)之间，所述上固定板组件(3)和下固定板组件(4)安装在清洗底座(1)上，所述清洗底座(1)上设置有二流体喷嘴(2)，用于对3DMEMS探针(5)进行清洗；
所述清洗底座(1)包括座体(1-1)，对称设置在座体(1-1)两侧的支架(1-2)，设置在座体(1-1)底部的圆弧凹槽(1-3)和设置在座体(1-1)底部的泄流槽(1-4)；所述支架(1-2)用于安装二流体喷嘴(2)，所述圆弧凹槽(1-3)用于固定上固定板组件(3)和下固定板组件(4)，所述泄流槽(1-4)用于泄流清洗液；
所述二流体喷嘴(2)包括压缩空气喷嘴(2-1)和清洗液喷嘴(2-2)，所述压缩空气喷嘴(2-1)与清洗液喷嘴(2-2)固定连接；
所述上固定板组件(3)包括第一下固定环(3-5)和第一上固定环(3-2)，设置在第一下固定环(3-5)和第一上固定环(3-2)之间的第一纱网(3-3)，设置在第一下固定环(3-5)边缘的第一定位销(3-4)和设置在第一上固定环(3-2)和第一下固定环(3-5)之间的第一固定螺丝(3-1)；所述第一下固定环(3-5)为凸台结构，第一上固定环(3-2)为凹槽结构，所述第一纱网(3-3)为轻柔高弹性尼龙材料，所述第一上固定环(3-2)通过向下挤压把第一纱网(3-3)绷紧，所述第一定位销(3-4)为固定导向作用，用于第一下固定环(3-5)和第一上固定环(3-2)定位；
所述下固定板组件(4)包括第二下固定环(4-5)和第二上固定环(4-2)，设置在第二下固定环(4-5)和第二上固定环(4-2)之间的第二纱网(4-3)，设置在第二下固定环(4-5)边缘的第二定位销(4-4)和设置在第二上固定环(4-2)和第二下固定环(4-5)之间的第二固定螺丝(4-1)；所述第二下固定环(4-5)为凸台结构，第二上固定环(4-2)为凹槽结构，所述第二纱网(4-3)为轻柔高弹性尼龙材料，所述第二上固定环(4-2)通过向下挤压把第二纱网(4-3)绷紧，所述第二定位销(4-4)为固定导向作用，用于第二下固定环(4-5)和第二上固定环(4-2)定位，弹簧卡扣(4-6)用于固定上固定板组件(3)和下固定板组件(4)，并将3DMEMS探针(5)夹持在上固定板组件(3)和下固定板组件(4)中间。
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