[发明专利]间隙测量装置及方法在审
申请号: | 202111426039.6 | 申请日: | 2021-11-25 |
公开(公告)号: | CN114577129A | 公开(公告)日: | 2022-06-03 |
发明(设计)人: | 李忠禹;全盛鍊;朴仁奎;张容硕 | 申请(专利权)人: | 细美事有限公司 |
主分类号: | G01B11/14 | 分类号: | G01B11/14 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 王达佐;王艳春 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 间隙 测量 装置 方法 | ||
1.一种间隙测量方法,包括以下步骤:
准备包括第一部件和第二部件的被测装备;
向所述被测装备照射激光,并利用第一设定的拍摄模块拍摄所述被测装备从而获取第一图像,其中,所述第一图像包括与所述第一部件的表面对应的第一激光线图像和与所述第二部件的表面对应的第二激光线图像;
基于所述第一图像中的所述第二激光线图像的最大宽度,将所述拍摄模块从所述第一设定修改为第二设定;
向所述被测装备照射激光,并利用所述第二设定的所述拍摄模块拍摄所述被测装备从而获取第二图像;以及
基于所述第二图像中的所述第一激光线图像与所述第二激光线图像之间的不连续区域,算出所述第一部件与所述第二部件之间的间隙。
2.根据权利要求1所述的间隙测量方法,其中,
将所述拍摄模块从所述第一设定修改为所述第二设定的步骤包括:将所述拍摄模块的相机的快门速度从第一速度修改为第二速度。
3.根据权利要求1所述的间隙测量方法,其中,
将所述拍摄模块从所述第一设定修改为所述第二设定的步骤包括:将所述拍摄模块的增益从第一增益修改为第二增益。
4.根据权利要求1所述的间隙测量方法,其中,
基于所述第一图像中的所述第二激光线图像的最大宽度,将所述拍摄模块从所述第一设定修改为所述第二设定的步骤包括:
算出所述第二激光线图像的最大宽度;以及
如果所述最大宽度大于预设的第一范围的上限,则提高所述拍摄模块的相机的快门速度或降低所述相机的增益。
5.根据权利要求4所述的间隙测量方法,包括以下步骤:如果所述最大宽度小于所述预设的第一范围的下限,则降低所述拍摄模块的相机的快门速度或提高所述相机的增益。
6.根据权利要求1所述的间隙测量方法,其中,
基于所述第一图像中的所述第二激光线图像的最大宽度,将所述拍摄模块从所述第一设定修改为所述第二设定的步骤包括:
算出所述第一激光线图像与所述第二激光线图像之间的区域的最小宽度;以及
基于所述最大宽度和所述最小宽度,将所述拍摄模块从所述第一设定修改为所述第二设定。
7.根据权利要求6所述的间隙测量方法,其中,
基于所述最大宽度和所述最小宽度,将所述拍摄模块从所述第一设定修改为所述第二设定的步骤包括:
将所述拍摄模块从所述第一设定修改为所述第二设定,使得对应于所述最大宽度的第一位置与对应于所述最小宽度的第二位置之间的距离在预设的第二范围内。
8.根据权利要求6所述的间隙测量方法,其中,
基于所述最大宽度和所述最小宽度,将所述拍摄模块从所述第一设定修改为所述第二设定的步骤包括:
从所述第一图像,算出表示根据所述第一激光线图像和所述第二激光线图像的位置所测量的宽度的曲线;
算出所述曲线中的从所述最小宽度到所述最大宽度之间的区段的切线斜率;以及
将所述拍摄模块从所述第一设定修改为所述第二设定,使得对应于所述最大宽度的第一位置与对应于所算出的所述切线斜率中的最大斜率的第三位置之间的距离在预设的第三范围内。
9.根据权利要求1所述的间隙测量方法,其中,
所述第二部件为圆盘的形状,
所述第一部件为围绕所述圆盘的环形形状,以及
获取所述第一图像的步骤包括:拍摄所述第一部件与所述第二部件之间的多个空间从而获取多个第一图像,其中,所述多个第一图像是在以所述圆盘的中心为基准的虚拟坐标中在原点对称的空间中拍摄的图像。
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