[发明专利]间隙测量装置及方法

说明书

本发明提供一种能够准确地测量相邻的部件之间的间隙的间隙测量方法。所述间隙测量方法包括以下步骤：准备包括第一部件和第二部件的被测装备；向所述被测装备照射激光，并利用第一设定的拍摄模块拍摄所述被测装备从而获取第一图像，其中，所述第一图像包括与所述第一部件的表面对应的第一激光线图像和与所述第二部件的表面对应的第二激光线图像；基于所述第一图像中的所述第二激光线图像的最大宽度，将所述拍摄模块从所述第一设定修改为第二设定；向所述被测装备照射激光，并利用所述第二设定的所述拍摄模块拍摄所述被测装备从而获取第二图像；以及基于所述第二图像中的所述第一激光线图像与所述第二激光线图像之间的不连续区域，算出所述第一部件与所述第二部件之间的间隙。

技术领域

本发明涉及一种间隙测量装置及方法。

背景技术

静电卡盘包括支承部件和围绕支承部件的边缘环。支承部件与边缘环之间的间隙应该是恒定的。可以通过拍摄支承部件和边缘环来检查支承部件与边缘环之间的间隙，但是所拍摄的图像可能根据静电卡盘所处的腔室内的条件、被拍摄物体的反射率等而不同。在这种情况下，难以准确地拍摄支承部件与边缘环之间的间隙。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种能够准确地测量相邻的部件之间的间隙的间隙测量方法。

本发明要解决的另一技术问题是提供一种能够准确地测量相邻的部件之间的间隙的间隙测量装置。

本发明的技术问题不限于以上提及的技术问题，本领域技术人员将可以通过下面的记载清楚地理解未提及的其它技术问题。

用于解决上述技术问题的本发明的间隙测量方法的一方面包括以下步骤：准备包括第一部件和第二部件的被测装备；向所述被测装备照射激光，并利用第一设定的拍摄模块拍摄所述被测装备从而获取第一图像，其中，所述第一图像包括与所述第一部件的表面对应的第一激光线图像和与所述第二部件的表面对应的第二激光线图像；基于所述第一图像中的所述第二激光线图像的最大宽度，将所述拍摄模块从所述第一设定修改为第二设定；向所述被测装备照射激光，并利用所述第二设定的所述拍摄模块拍摄所述被测装备从而获取第二图像；以及基于所述第二图像中的所述第一激光线图像与所述第二激光线图像之间的不连续区域，算出所述第一部件与所述第二部件之间的间隙。

用于解决上述技术问题的本发明的间隙测量方法的另一方面包括以下步骤：准备被测装备，所述被测装备包括边缘环和布置在所述边缘环的内侧的支承部件；由机械臂使视觉晶片位于所述被测装备的上方，其中，所述视觉晶片包括：能够向所述被测装备照射激光的发光模块和能够对所述被测装备进行拍摄的拍摄模块；由所述发光模块向所述被测装备照射激光，并利用第一设定的拍摄模块拍摄所述被测装备从而获取第一图像，其中，所述第一图像包括与所述边缘环的表面对应的第一激光线图像和与所述支承部件的表面对应的第二激光线图像；算出所述第一图像中的所述第二激光线图像的最大宽度；如果所述最大宽度大于预设的第一范围的上限，则提高所述拍摄模块的相机的快门速度或降低所述相机的增益；以及如果所述最大宽度小于所述预设的第一范围的下限，则降低所述拍摄模块的相机的快门速度或提高所述相机的增益。

用于解决上述另一技术问题的本发明的间隙测量装置的一方面包括：测量单元，包括发光模块和拍摄模块；以及分析单元，分析由所述测量单元拍摄的图像，其中，所述测量单元通过所述发光模块向包括所述第一部件和所述第二部件的被测装备照射激光，并利用第一设定的所述拍摄模块拍摄所述被测装备从而获取第一图像，其中，所述第一图像包括与所述第一部件的表面对应的第一激光线图像和与所述第二部件的表面对应的第二激光线图像，所述分析单元基于所述第一图像中的所述第二激光线图像的最大宽度，确定是否改变所述拍摄模块的设定，所述分析单元指示所述测量单元将所述拍摄模块从第一设定修改为第二设定，所述测量单元通过所述发光模块向所述被测装备照射激光，并利用所述第二设定的所述拍摄模块拍摄所述被测装备从而获取第二图像，所述分析单元基于所述第二图像中的所述第一激光线图像与所述第二激光线图像之间的不连续区域，算出所述第一部件与所述第二部件之间的间隙。