[发明专利]芯片筛选装置和芯片检测产线在审
申请号: | 202111426752.0 | 申请日: | 2021-11-27 |
公开(公告)号: | CN114247662A | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 薛锋伟;史赛;谢欣峰 | 申请(专利权)人: | 苏州华兴源创科技股份有限公司 |
主分类号: | B07C5/344 | 分类号: | B07C5/344;B07C5/36 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 文嘉慧 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 筛选 装置 检测 | ||
1.一种芯片筛选装置,其特征在于,所述芯片筛选装置包括:
工作台;
第一传送模块,设置于所述工作台,所述第一传送模块上设置有取料盘,所述取料盘设置有多个用于放置芯片的取料腔;
第二传送模块,设置于所述工作台,所述第二传送模块设置有检测盘,所述检测盘设置有多个用于放置所述芯片的检测腔;
吸附模块,滑设在所述工作台且位于所述第一传送模块和所述第二传送模块上方,所述吸附模块包括多个吸嘴组件,每个所述吸嘴组件能够独立地吸取所述取料腔的所述芯片并一一对应地放置在所述检测腔内。
2.根据权利要求1所述的芯片筛选装置,其特征在于,所述吸附模块包括间距调节板;
所述间距调节板包括多条相互间隔且朝所述工作台方向延伸的调节槽,相邻两个所述调节槽之间的间距沿所述工作台方向逐渐减小,所述多个吸嘴组件一一对应地设置在多条所述调节槽内。
3.根据权利要求2所述的芯片筛选装置,其特征在于,所述吸嘴组件包括设置在第一安装座上的吸嘴以及驱动所述吸嘴相对于所述工作台往复移动的驱动元件。
4.根据权利要求3所述的芯片筛选装置,其特征在于,所述吸嘴组件还包括固定所述驱动元件的第二安装座,所述第二安装座设置有导向组件,所述第一安装座滑设于所述导向组件。
5.根据权利要求4所述的芯片筛选装置,其特征在于,所述导向组件远离所述第二安装座的一端设置有保护治具,所述保护治具设置有贯通的保护孔,所述保护孔与所述吸嘴对应,所述保护治具与所述第二安装座之间还设置有弹性件。
6.根据权利要求1所述的芯片筛选装置,其特征在于,所述取料盘的侧壁设置有凹槽,所述第一传送模块设置有第一升降托举机构,所述第一升降托举机构能够与所述取料盘的所述凹槽配合并支撑所述取料盘朝远离所述第一传送模块方向移动。
7.根据权利要求6所述的芯片筛选装置,其特征在于,所述第一传送模块还设置有换向装置,所述换向装置能够带动所述取料盘旋转。
8.根据权利要求1所述的芯片筛选装置,其特征在于,工作台上还设置有第三传送模块,所述第三传送模块设置有补料盘和回收盘,所述吸附模块能够从所述检测腔内取出芯片放置在所述回收盘内,从所述补料盘内转运芯片至所述检测腔内。
9.一种芯片检测产线,其特征在于,包括如权利要求1~8中任意一项所述的芯片筛选装置、中转装置和检测系统;
所述中转装置包括转移机构,所述转移机构能够在所述第二传送模块和所述检测系统之间转移所述检测盘;
所述检测系统判断所述检测盘内每个所述检测腔内的所述芯片是否合格,并将收容不合格芯片的所述检测腔位置信息传送至所述吸附模块。
10.根据权利要求9所述的芯片检测产线,其特征在于,所述中转装置还包括移动货架,所述移动货架包括多层搁物台以放置所述检测盘。
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