[发明专利]芯片筛选装置和芯片检测产线在审
申请号: | 202111426752.0 | 申请日: | 2021-11-27 |
公开(公告)号: | CN114247662A | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 薛锋伟;史赛;谢欣峰 | 申请(专利权)人: | 苏州华兴源创科技股份有限公司 |
主分类号: | B07C5/344 | 分类号: | B07C5/344;B07C5/36 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 文嘉慧 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 筛选 装置 检测 | ||
本发明涉及一种芯片筛选装置和芯片检测产线。芯片筛选装置包括:工作台;第一传送模块,设置于所述工作台,第一传送模块上设置有取料盘,取料盘设置有多个用于放置芯片的取料腔;第二传送模块,设置于工作台,第二传送模块设置有检测盘,检测盘设置有多个用于放置芯片的检测腔;吸附模块,滑设在工作台且位于第一传送模块和第二传送模块上方,吸附模块包括多个吸嘴组件,每个吸嘴组件能够独立地吸取取料腔的芯片并一一对应地放置在检测腔内。本发明中的芯片筛选装置能够提高芯片的转运效率,还可以根据需要将任意一个或多个取料腔内的芯片从取料盘内剔除,实现芯片的筛选功能。
技术领域
本发明涉及芯片检测技术领域,特别是涉及芯片筛选装置和芯片检测产线。
背景技术
芯片在生产后,需要对芯片进行检测以确保芯片各方面的指标能够满足实际要求。
现有的芯片检测过程中主要包括两个步骤,第一步骤是芯片的转运;第二步骤是芯片的检测。在第一步骤中,现有的转运装置在转移效率、转移装置的适配性以及转移装置损伤芯片等方面还存在不足;在第二步骤中,在芯片批量检测方面以及检测后批量挑选方面还存在不足。
发明内容
基于此,有必要针对上述提到的至少一个问题,提供一种芯片筛选装置,进而还提出芯片检测产线和芯片筛选方法。
一种芯片筛选装置,所述芯片筛选装置包括:
工作台;
第一传送模块,设置于所述工作台,所述第一传送模块上设置有取料盘,所述取料盘设置有多个用于放置芯片的取料腔;
第二传送模块,设置于所述工作台,所述第二传送模块设置有检测盘,所述检测盘设置有多个用于放置所述芯片的检测腔;
吸附模块,滑设在所述工作台且位于所述第一传送模块和所述第二传送模块上方,所述吸附模块包括多个吸嘴组件,每个所述吸嘴组件能够独立地吸取所述取料腔的所述芯片并一一对应地放置在所述检测腔内。
上述芯片筛选装置,第一传送模块能够将取料盘传送至靠近吸附模块,吸附模块上的多个吸嘴组件能够同时从取料盘的多个取料腔内取出多个芯片并一一对应地放置在检测腔内。因此在批量转运芯片的过程中,能够提高芯片的转运效率。另外,由于每个吸嘴组件能够独立地工作,因此吸附模块还可以根据需要将任意一个或多个取料腔内的芯片从取料盘内剔除,实现芯片的筛选功能。
在其中一个实施例中,所述吸附模块包括间距调节板;
所述间距调节板包括多条相互间隔且沿所述工作台方向延伸的调节槽,相邻两个所述调节槽之间的间距朝所述工作台方向逐渐减小,所述多个吸嘴组件一一对应地设置在多条所述调节槽内。
在其中一个实施例中,所述吸嘴组件包括设置在第一安装座上的吸嘴以及驱动所述吸嘴相对于所述工作台往复移动的驱动元件。
在其中一个实施例中,所述吸嘴组件还包括固定所述驱动元件的第二安装座,所述第二安装座设置有导向组件,所述第一安装座滑设于所述导向组件。
在其中一个实施例中,所述导向组件远离所述第二安装座的一端设置有保护治具,所述保护治具设置有贯通的保护孔,所述保护孔与所述吸嘴对应,所述保护治具与所述第二安装座之间还设置有弹性件。
在其中一个实施例中,所述取料盘的侧壁设置有凹槽,所述第一传送模块设置有第一升降托举机构,所述第一升降托举机构能够与所述取料盘的所述凹槽配合并支撑所述取料盘朝远离所述第一传送模块方向移动。
在其中一个实施例中,所述第一传送模块还设置有换向装置,所述换向装置能够带动所述取料盘旋转。
在其中一个实施例中,工作台上还设置有第三传送模块,所述第三传送模块设置有补料盘和回收盘,所述吸附模块能够从所述检测腔内取出芯片放置在所述回收盘内,从所述补料盘内转运芯片至所述检测腔内。
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