[发明专利]电源和检查装置在审
申请号: | 202111429458.5 | 申请日: | 2021-11-29 |
公开(公告)号: | CN114630453A | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | 河西繁;藤井郁也 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | H05B1/02 | 分类号: | H05B1/02;G01R31/26 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳;牛孝灵 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电源 检查 装置 | ||
1.一种对加热机构供电的电源,所述加热机构用于加热能够产生测量信号的测量对象,所述电源的特征在于,包括:
输入部,其用于进行输入信号的输入,所述输入信号是通过使控制信号反映到1kHz以下频率的可微分周期性波形上得到的信号;和
开关放大部,其利用开关电路将从所述输入部输入的信号放大并输出。
2.如权利要求1所述的电源,其特征在于:
所述输入部包括:
信号源,其产生所述1kHz以下频率的可微分周期性波形的信号;和
乘法器,其使所述控制信号与由所述信号源产生的信号相乘。
3.如权利要求1或2所述的电源,其特征在于:
所述控制信号的变化在电压为零的点进行。
4.如权利要求1~3中任一项所述的电源,其特征在于:
使电压为最大的点与电流为最大的点在时间上错开。
5.如权利要求1~4中任一项所述的电源,其特征在于:
所述开关放大部包括模拟放大器。
6.如权利要求5所述的电源,其特征在于:
所述模拟放大器是使用了PWM的模拟放大器。
7.如权利要求6所述的电源,其特征在于:
所述使用了PWM的模拟放大器包括:
三角波发生器;
对所述输入信号与由所述三角波发生器产生的三角波进行比较的比较器;
设定从所述比较器输出的信号的占空比的PWM驱动器;
将来自所述PWM驱动器的信号输出成所要求的矩形波的输出晶体管;和
对所述矩形波进行平滑化来使其成为与所述输入信号的波形同样的可微分波形的低通滤波器。
8.如权利要求7所述的电源,其特征在于:
所述使用了PWM的模拟放大器还包括:
将输出信号进行反馈的反馈电路;和
将反馈来的所述输出信号与所述输入信号之差放大并输入到所述比较器的误差放大器。
9.如权利要求6~8中任一项所述的电源,其特征在于:
还包括具有与所述开关放大部相同结构的另一开关放大部,对所述开关放大部将所述输入信号保持原样地输入,对所述另一开关放大部将所述输入信号经由反相放大器输入,所述开关放大部和所述另一开关放大部的输出被输出到所述加热机构。
10.如权利要求5~9中任一项所述的电源,其特征在于:
还包括设置在所述开关放大部的下游侧的、与所述输入信号的频率谐振的串联谐振电路。
11.如权利要求1~4中任一项所述的电源,其特征在于:
所述开关放大部包括数字放大器。
12.如权利要求11所述的电源,其特征在于:
所述数字放大器是使用了ΔΣ转换的数字放大器。
13.如权利要求12所述的电源,其特征在于:
所述开关放大部包括ΔΣ转换电路和输出晶体管。
14.如权利要求13所述的电源,其特征在于:
所述ΔΣ转换电路包括:
求取输入信号与反馈信号之差的微分器;
对来自所述微分器的信号进行积分的积分器;
将积分得到的信号与基准值比较,根据其大小将“1”、“0”的脉冲序列输出到所述输出晶体管的比较器;和
根据来自所述比较器的输出生成与正的基准电压或负的基准电压相等的电压,并将生成的电压作为所述反馈信号输出到所述微分器的单比特DA转换器。
15.如权利要求11~14中任一项所述的电源,其特征在于:
还包括设置在所述开关放大部的下游侧的低通滤波器。
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