[发明专利]电源和检查装置

说明书

本发明提供高效且低噪的电源和检查装置。本发明的电源对加热机构供电，该加热机构用于加热能够产生测量信号的测量对象，电源包括：输入部，其用于进行输入信号的输入，该输入信号是通过使控制信号反映到1kHz以下频率的可微分周期性波形上得到的信号；和开关放大部，其利用开关电路将从输入部输入的信号放大并输出。

技术领域

本发明涉及电源和检查装置。

背景技术

在半导体制造工艺中，会在半导体晶片(以下简称为晶片)上形成具有规定电路图案的大量的电子器件。所形成的电子器件的电气特性在晶片状态下由称为探针的检查装置进行检查。

这样的检查装置为了在检查器件的电气特性时能够重现该电子器件的安装环境，利用冷却介质流路和加热器来控制对晶片进行保持的晶片吸盘的温度(例如专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-66692号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

在检查装置这样的测量装置中，对能够产生测量信号的器件进行加热时使用加热器，而对于向该加热器供电的电源，要求具有高效且低噪的特性。

本发明提供高效且低噪的电源和检查装置。

解决问题的技术手段

本发明的一个方面的电源用于加热能够检测到测量信号的测量对象，包括：输入部，其用于进行输入信号的输入，该输入信号是通过使控制信号反映到1kHz以下频率的可微分周期性波形上得到的信号；和开关放大部，其利用开关电路将从所述输入部输入的信号放大并输出。

发明效果

采用本发明能够提供高效且低噪的电源和检查装置。

附图说明

图1是表示使用了实施方式的电源的检查装置的概略结构的立体图。

图2是以剖面表示图1的检查装置的一部分的正视图。

图3是概略地表示作为检查对象基片的晶片的结构的俯视图。

图4是表示电源之第一例的框图。

图5是表示电源之第二例的框图。

图6是表示电源之第三例的框图。

图7是表示电源之第四例的框图。

图8是表示电源之第五例的框图。

图9是表示电源之第六例的框图。

附图标记说明

1：检查装置，2：检查部，3：装载机，4：测试器，10：载置台，12：探针卡，12a：探针，13：接口，20：加热机构(加热器)，30：电源，31：输入部，32、32a、32：开关放大部(模拟放大器)，33、37：串联谐振电路，35：开关放大部(数字放大器)，36、57、57′：低通滤波器，40：控制部，41：温度控制部，51：信号源，52：乘法器，53：三角波发生器，54、54′、83：比较器，55、55′：PWM驱动器，56a、56b、56a′、56b′、72a、72b：输出晶体管，58：反馈网络，59：误差放大器，60：反相放大器，71：ΔΣ转换(ΔΣ调制)电路，81：微分器，82：积分器，84：单比特DA转换器，85：移相器，D：器件，W：晶片。

具体实施方式

下面参照附图对实施方式进行说明。

检查装置