[发明专利]一种用于槽式湿法设备的药液槽及使用方法

权利要求书

1.一种用于槽式湿法设备的药液槽，其特征在于，所述药液槽包括顶部为开口的药液槽本体、遮挡件以及具有至少一个进水口的应急水槽；

其中，所述进水口位于所述应急水槽的侧壁或顶部；

所述应急水槽的底部包括至少一个供晶圆进入的晶圆入口；

所述应急水槽的底部与所述药液槽本体的顶部连接，且所述晶圆入口与所述开口位置对应；

所述遮挡件可移动地设置在所述药液槽本体和所述应急水槽之间：被配置为封闭所述晶圆入口以使得所述应急水槽能够容纳清洗液，以及打开所述晶圆入口以使得所述晶圆能够进入所述应急水槽。

2.如权利要求1所述的一种用于槽式湿法设备的药液槽，其特征在于，所述药液槽本体与所述应急水槽形状大小相同。

3.如权利要求1所述的一种用于槽式湿法设备的药液槽，其特征在于，所述晶圆入口大小与所述开口大小相同。

4.如权利要求1所述的一种用于槽式湿法设备的药液槽，其特征在于，所述遮挡件为挡板，所述挡板面积≥所述药液槽本体的顶部开口面积≥所述晶圆入口面积。

5.如权利要求4所述的一种用于槽式湿法设备的药液槽，其特征在于，还包括一容纳部，所述容纳部位于所述应急水槽和所述药液槽本体的外侧，且靠近所述开口和所述晶圆入口设置，所述容纳部用于放置所述挡板。

6.如权利要求1所述的一种用于槽式湿法设备的药液槽，其特征在于，所述药液槽的药液槽本体的外侧还设置有一清水槽。

7.如权利要求6所述的一种用于槽式湿法设备的药液槽，其特征在于，还包括报警器，所述报警器位于所述药液槽本体和所述清水槽内。

8.如权利要求1所述的一种用于槽式湿法设备的药液槽，其特征在于，还包括一位于所述药液槽本体内的搬运单元，所述搬运单元用于搬运所述晶圆。

9.如权利要求1所述的一种用于槽式湿法设备的药液槽，其特征在于，还包括一排液管，所述排液管连接所述药液槽本体的侧壁底部。

10.一种用于槽式湿法设备的药液槽的使用方法，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的用于槽式湿法设备的药液槽，使用所述药液槽对所述晶圆进行洗涤的方法包括：

步骤1：判断所述药液槽本体内或所述药液槽的药液槽本体外侧的清水槽内报警器是否发出报警，若是，依次执行步骤2-5；若否，执行步骤5；

步骤2：将所述晶圆从所述药液槽本体搬运至所述应急水槽内；

步骤3：启动所述遮挡件，以隔离所述药液槽本体和所述应急水槽；

步骤4：向所述应急水槽内注入清水，并对所述晶圆进行洗涤；

步骤5：将所述晶圆搬运至所述清水槽内，并对所述晶圆进行清洗。