[发明专利]磺酸亚胺类化合物作为KrF厚膜光刻胶光产酸剂的应用

权利要求书

1.一种磺酸亚胺类化合物作为KrF厚膜光刻胶组合物中的光产酸剂的应用，其特征在于，所述的磺酸亚胺类化合物为如式Ⅰ所示的化合物；

式Ⅰ中，n为0、1、2或3；

R₁为-COOR^1-1或C_1-4烷基；R^1-1为C_1-4烷基；

R₂为C_1-4烷基。

2.如权利要求1所述的应用，其特征在于，所述的磺酸亚胺类化合物满足以下条件的一种或多种：

(1)n为0、1或2；

(2)当R₁为-COOR^1-1时，所述的R^1-1为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基或叔丁基，优选乙基；

(3)当R₁为C_1-4烷基时，所述的R₁为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基或叔丁基，优选甲基；

(4)R₂为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基或叔丁基，优选甲基。

3.如权利要求2所述的应用，其特征在于，所述的磺酸亚胺类化合物为以下化合物中的任一种：

4.如权利要求1所述的应用，其特征在于，所述的KrF厚膜光刻胶组合物包括：如权利要求1-3任一项所述的磺酸亚胺类化合物、光敏聚合物、三乙醇胺和溶剂；所述光敏聚合物为酚醛树脂、聚羟基苯乙烯树脂、丙烯酸类树脂或其组合。

5.如权利要求4所述的应用，其特征在于，所述的KrF厚膜光刻胶组合物由所述的磺酸亚胺类化合物、所述光敏聚合物、三乙醇胺和溶剂组成。

6.如权利要求4或5所述的应用，其特征在于，所述的KrF厚膜光刻胶组合物满足以下条件的一种或多种：

(1)所述的光敏聚合物为单体A、单体B和单体C进行加聚反应得到的光敏聚合物，所述的单体A为所述的单体B为所述的单体C为所述的单体A、所述的单体B和所述的单体C的摩尔比为66.5:8.5:25；

(2)所述的光敏聚合物的重均分子量为10,000至600,000；例如20,000至400,000；又例如22,000；

(3)所述的光敏聚合物的多分散系数为1至3，例如2.1；

(4)所述的溶剂为酯类溶剂，例如丙二醇单甲醚乙酸酯；

(5)所述的光敏聚合物的重量份数为100份；

(6)所述的磺酸亚胺类化合物的重量份数为5份，以100重量份光敏聚合物计；

(7)所述三乙醇胺的重量份数为0.1份，以100重量份光敏聚合物计；

(8)所述溶剂的重量份数为800份，以100重量份光敏聚合物计。

7.如权利要求6所述的应用，其特征在于，所述的KrF厚膜光刻胶组合物由5重量份的所述的磺酸亚胺类化合物、100重量份所述的光敏聚合物、0.1重量份的三乙醇胺溶解至800重量份的丙二醇单甲醚乙酸酯制备得到；其中，光敏聚合物为通过将所述单体A、所述单体B和所述单体C进行加聚反应得到；所述单体A、所述单体B和所述单体C的摩尔比为66.5:8.5:25，最终制备得到的光敏聚合物的重均分子量为22,000；其多分散性指数为2.1。

8.如权利要求6或7所述的应用，其特征在于，其满足以下条件的一种或多种：

(1)所述加聚反应的溶剂为酯类溶剂，优选为乙酸乙酯；

(2)所述加聚反应的温度为75～80℃，优选为78℃；

(3)所述加聚反应的时间为6～10h，优选为8h；

(4)所述的加聚反应结束后，可通过以下后处理步骤进行处理：1)将反应液与醇类溶剂混合，产生沉淀，将沉淀与酯类溶剂混合，溶解；2)重复1)操作3次，再与醇类溶剂混合，得到沉淀物，干燥即可；所述的醇类溶剂优选为甲醇；所述的酯类溶剂优选为乙酸乙酯。