[发明专利]连续生产乙硅烷的方法及反应系统有效

专利信息
申请号: 202111452068.X 申请日: 2021-12-01
公开(公告)号: CN114180580B 公开(公告)日: 2022-08-12
发明(设计)人: 陈涵斌;郑锐;许澄诚 申请(专利权)人: 全椒亚格泰电子新材料科技有限公司
主分类号: C01B33/04 分类号: C01B33/04
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 李寰
地址: 239500 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 连续生产 硅烷 方法 反应 系统
【权利要求书】:

1.一种连续生产乙硅烷的方法,其特征在于:包括以下步骤:

步骤一:将硅粉和金属粉体加入到粉体混合仓内,混合好之后通入到密闭的粉体加料仓内;

步骤二:在密闭的粉体加料仓内利用特定放电气体将硅粉与金属粉体连续携带通过热等离子体发生器,在热等离子体区域内发生反应生成金属硅化物粉体,热等离子体区域内的压力为0.05~0.1Mpa,热等离子体区域内的温度为2000~6500℃;

步骤三:将金属硅化物粉体通入特定溶剂中与强酸反应,反应温度为-10~60℃,反应压力为0.05~0.1Mpa,连续生成乙硅烷并副产甲硅烷和丙硅烷;

所述金属粉体为铁粉。

2.如权利要求1所述连续生产乙硅烷的方法,其特征在于:所述特定放电气体为氢气、氦气、氖气、氩气、氪气、氙气中的一种或几种。

3.如权利要求1所述连续生产乙硅烷的方法,其特征在于:所述硅粉的粒径范围为1~500微米;所述金属粉体的粒径范围为1~500微米。

4.如权利要求3所述连续生产乙硅烷的方法,其特征在于:所述硅粉与金属粉体的质量比范围为1:0.8~1:2.5。

5.如权利要求1所述连续生产乙硅烷的方法,其特征在于:所述热等离子体发生器形式为直流电弧放电、电感耦合放电、电容耦合放电、微波放电中的一种。

6.如权利要求1所述连续生产乙硅烷的方法,其特征在于:所述特定溶剂为沸点高于60℃且不含水的极性溶剂;所述极性溶剂为醇类或肼。

7.如权利要求1所述连续生产乙硅烷的方法,其特征在于:所述强酸为熔点低于60℃的无极强酸或有机强酸。

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